特許
J-GLOBAL ID：201403097309314599

スケジュール作成装置、基板処理装置、スケジュール作成プログラム、スケジュール作成方法、および基板処理方法

発明者：
平藤 裕司

平藤 裕司 について


出願人/特許権者：
大日本スクリーン製造株式会社

大日本スクリーン製造株式会社 について


代理人 (2件)： 吉竹 英俊 ,  有田 貴弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-051510
公開番号（公開出願番号）：特開2014-078676
出願日： 2013年03月14日
公開日（公表日）： 2014年05月01日
要約：
【課題】複数枚の基板を搬送する際のスケジュール作成において、時間効率の良いスケジュールを作成できる技術を提供する。【解決手段】この発明のスケジュール作成装置は、複数枚の基板を処理部で処理して搬送する際のスケジュール作成において、順次搬出フローよりも一括搬出フローの方が早く搬送を完了させることができるか否かを判断して、その判断結果に応じてこれらを選択的に採用する。このうち順次搬出フローは、搬搬送処理を開始できる時刻が早い順に各基板を所定の搬送先まで搬送するフローであり、一括搬出フローは、搬送処理を開始できる基板についても後続基板の搬送処理が開始できる時刻までは搬送せずに、後続基板の搬送処理が開始できる時刻になった際に複数枚の基板を併せて搬送先まで搬送するフローである。【選択図】図15
請求項（抜粋）：
複数の処理ユニットで並列的かつ個別のタイミングで処理された複数の基板を、所定の搬送手段によって所定の搬送先へと搬送する搬送処理のスケジュールを含んだ基板処理装置の制御スケジュールを生成する装置であって、 (a) 前記複数の処理ユニット中の任意の処理ユニットでの処理が先に完了する先行基板と、前記複数の処理ユニットの中の前記処理ユニットとは別の処理ユニットでの処理が前記先行基板の後に完了する後続基板とについて、 前記先行基板の処理を行う処理ユニットを「第1処理ユニット」と呼び、前記後続基板の処理を行う処理ユニットを「第2処理ユニット」と呼ぶとき、 前記先行基板と前記後続基板とについての前記搬送処理を順次に行なう搬出シーケンスとしての順次搬出フローが完了する時刻に対応した第1判定用時刻値と、 前記第2処理ユニットでの前記後続基板の処理が完了するまで前記先行基板を待機させ、前記後続基板の処理が完了した後に、前記先行基板と前記後続基板とについての前記搬送処理を一括して行う搬出シーケンスとしての一括搬出フローが完了する時刻に対応した第2判定用時刻値と、 を相互に比較する比較手段と、 (b) 前記第1判定用時刻が前記第2判定用時刻よりも早いときには前記順次搬出フローを採用し、前記第2判定用時刻が前記第1判定用時刻よりも早いときには前記一括搬出フローを採用して、前記基板処理装置のスケジュールデータを生成する選択的スケジュール生成手段と、 を備えることを特徴とするスケジュール作成装置。
IPC (3件)：
H01L 21/02 ,  H01L 21/304 ,  H01L 21/677
FI (4件)：
H01L21/02 Z ,  H01L21/304 648H ,  H01L21/304 648A ,  H01L21/68 A
Fターム (42件)：
5F131AA02 ,  5F131BA37 ,  5F131BB02 ,  5F131BB03 ,  5F131CA32 ,  5F131DA22 ,  5F131DA32 ,  5F131DA33 ,  5F131DA36 ,  5F131DB02 ,  5F131DB52 ,  5F131DB62 ,  5F131DB72 ,  5F131DB76 ,  5F131DD03 ,  5F131DD46 ,  5F131DD56 ,  5F131DD62 ,  5F131DD82 ,  5F131EA06 ,  5F131EA24 ,  5F131EB01 ,  5F131EB32 ,  5F131GA03 ,  5F157AA16 ,  5F157AB02 ,  5F157AB14 ,  5F157AB16 ,  5F157AB33 ,  5F157AB46 ,  5F157AB48 ,  5F157AB51 ,  5F157AB64 ,  5F157AB90 ,  5F157BA02 ,  5F157BA22 ,  5F157BA31 ,  5F157BB22 ,  5F157CE03 ,  5F157CE04 ,  5F157CE09 ,  5F157DB46
引用特許：
出願人引用 (2件)

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