特許

J-GLOBAL ID：201403097676899889

光学デバイス、光学デバイスの製造方法および露光装置

発明者： 岡▲崎▼ 雅英 ,  栖原 敏明
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (3件)： 振角 正一 ,  梁瀬 右司 ,  大西 一正
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-135571
公開番号（公開出願番号）：特開2014-219685
出願日： 2014年07月01日
公開日（公表日）： 2014年11月20日
要約：

【課題】強誘電体結晶により構成される強誘電体基板に周期分極反転構造が形成される光学デバイスに関し、その強誘電体結晶の薄膜化および周期分極反転構造の高精度化を可能とする。【解決手段】単分極化された強誘電体結晶により構成された強誘電体基板11の一方主面S1Aと、支持基板14の一方主面S1Bとの間に接合部13を介在させて強誘電体基板11を支持基板14で支持しながら一体化しているので、上記した平面研磨処理により強誘電体基板11、つまり強誘電体結晶を薄膜化することができ、その結果、周期分極反転構造を薄くすることができる。そして、こうして薄膜化された強誘電体基板11に対し、上記したように電圧印加法により分極反転部を形成する。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

第1分極方向と、前記第1分極方向とは反対方向の第2分極方向に周期的に分極した周期分極反転構造を有する強誘電体結晶により構成された強誘電体基板と、 支持基板と、 前記強誘電体基板の一方主面と、前記強誘電体基板の一方主面と対向する前記支持基板の一方主面とに挟まれて前記強誘電体基板を前記支持基板で支持しながら一体化させる接合部と、 を備え、 前記接合部は、前記強誘電体基板の一方主面に形成された第1金属層と、前記支持基板の一方主面に形成された第2金属層とを接合させた導電層であり、 前記第1金属層および前記第2金属層には、前記周期分極反転構造における前記第1分極方向に分極した部分の周期と一致するパターンが形成される、光学デバイス。

IPC (5件)：

G02F 1/03 ,  G02F 1/29 ,  G02F 1/377 ,  H01L 21/027 ,  G03F 7/20

FI (5件)：

G02F1/03 505 ,  G02F1/29 ,  G02F1/377 ,  H01L21/30 529 ,  G03F7/20 501

Fターム (34件)：

2H097AA03 ,  2K102AA08 ,  2K102AA22 ,  2K102AA32 ,  2K102BA01 ,  2K102BA07 ,  2K102BA18 ,  2K102BB01 ,  2K102BB02 ,  2K102BB04 ,  2K102BC01 ,  2K102BC04 ,  2K102BD00 ,  2K102BD10 ,  2K102CA18 ,  2K102CA21 ,  2K102CA29 ,  2K102DA01 ,  2K102DA03 ,  2K102DA04 ,  2K102DA05 ,  2K102DA10 ,  2K102DA20 ,  2K102DC04 ,  2K102DD05 ,  2K102EA02 ,  2K102EA09 ,  2K102EA18 ,  2K102EA21 ,  2K102EB04 ,  2K102EB10 ,  2K102EB20 ,  5F146BA07 ,  5F146CB35

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 分極反転領域の製造方法ならびにそれを利用した光波長変換素子及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-217854   出願人：松下電器産業株式会社
• 光変調器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-332121   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• 周期ドメイン反転構造の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-101818   出願人：國立中央大學