特許
J-GLOBAL ID:201403099131059410

特定ガスの濃縮・希釈装置および特定ガスの濃縮・希釈方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): 大岩 増雄 ,  竹中 岑生 ,  児玉 俊英 ,  村上 啓吾
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-247115
公開番号(公開出願番号):特開2014-132212
出願日: 2013年11月29日
公開日(公表日): 2014年07月17日
要約:
【課題】1つのオゾン濃縮チャンバー内に、オゾン化酸素ガスからオゾンを選択的に出来る装置を提供する【解決手段】結露や酸素ガスを選択的に透過させ排出できるようにした冷却温度範囲の部分と結露したオゾンを蒸気化できる温度範囲の部分を形成し、結露したオゾンを流体の流れや重力作用を利用して、上記結露したオゾンを蒸気化できる部分に移動させ、蒸気化させることで、オゾン化酸素ガスをより高濃度化させることができる。オゾン濃縮チャンバー11、12内に詰められた結露・蒸気化粒子材13は、球状で、かつ側面が多面の平面を有する特殊な形状にすることやオゾンガス中の酸素ガスを選択的に透過できる酸素透過膜構成になっている。【選択図】図1
請求項(抜粋):
内部に特定ガスを選択的に結露する粒子材を封入したチャンバーと、上記チャンバーの上部に設けられ上記特定ガスを希釈したガスを取り出す希釈ガス取り出し口と、上記チャンバーの下部に設けられ特定ガスを濃縮したガスを取り出す濃縮ガス取り出し口と、上記チャンバーの上記希釈ガス取り出し口と濃縮ガス取り出し口との間に設けられ上記特定ガスと特定ガス以外の複数のガス種を含んだガスを供給するガス供給口と、上記チャンバーの外周部に設けられ上記チャンバー内を上記チャンバーの上部で上記特定ガスが結露する温度と上記チャンバーの下部で上記結露したガスが蒸発する温度との2つの温度分布を構成するように冷却する冷凍機とを備え、上記冷凍機による冷却により上記粒子材の表面で上記特定ガスを結露させ、結露したガスを重力により下方に落下させて上記特定ガスの濃縮ガスを上記濃縮ガス取り出し口から連続的に取り出すと共に、上記粒子材により分離された上記特定ガスの希釈ガスを上記希釈ガス取り出し部から連続的に取り出すようにしたことを特徴とする特定ガスの濃縮・希釈装置。
IPC (5件):
F25J 3/06 ,  C01B 13/11 ,  F25J 1/00 ,  F25J 3/08 ,  H01L 21/31
FI (5件):
F25J3/06 ,  C01B13/11 Z ,  F25J1/00 D ,  F25J3/08 ,  H01L21/31 A
Fターム (16件):
4D047AA07 ,  4D047AA08 ,  4D047AB00 ,  4D047AB01 ,  4D047BA06 ,  4D047CA15 ,  4D047DA11 ,  4D047DB03 ,  4G042CA01 ,  4G042CB19 ,  4G042CB26 ,  4G042CE04 ,  5F045AA06 ,  5F045AB32 ,  5F045AC00 ,  5F045EE02
引用特許:
出願人引用 (5件)
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