特許
J-GLOBAL ID：201403099627487314

露光装置、計測方法、露光方法、及びデバイス製造方法

発明者：
西永 壽

西永 壽 について

, 
引間 郁雄

引間 郁雄 について

, 
豊田 光紀

豊田 光紀 について

, 
水野 恭志

水野 恭志 について

, 
北 尚憲

北 尚憲 について

, 
谷津 修

谷津 修 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (5件)： 大野 聖二 ,  小林 英了 ,  加藤 真司 ,  鈴木 守 ,  大谷 寛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-247837
公開番号（公開出願番号）：特開2014-060444
出願日： 2013年11月29日
公開日（公表日）： 2014年04月03日
要約：
【課題】投影光学系の開口数が増大しても投影光学系からの露光光を受光して、各種の計測を行うことができる露光装置等を提供する。【解決手段】露光装置は、投影光学系と、投影光学系の像面側に配置された基板上に供給される液体とを介して基板に露光光を照射する。露光装置は、投影光学系に対して移動可能なステージと、ステージに設けられ、投影光学系に対向して配置された状態で液体に接する第1面、および投影光学系と液体とを介して第1面から入射した露光光を射出させる第2面を有する光学部材と、第2面から射出した露光光を受光する受光面を有し、受光面と第2面との間に気体を介在させて配置される受光素子と、を備える。第2面は、少なくとも1つの曲面が形成された曲面部と、凹凸が形成された凹凸部との少なくとも一方を含む。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
投影光学系と、該投影光学系の像面側に供給される液体を介して基板に露光光を照射す る露光装置であって、 前記投影光学系に対して移動可能なステージと、 前記ステージに設けられ、前記投影光学系に対向する位置に移動された状態で前記液体に接する第1面と、気体に接するように設けられて前記液体および前記第1面を介した前記投影光学系からの前記露光光を透過させる第2面とを含む光学部材と、 前記光学部材の前記第2面から射出される前記露光光を受光する受光面を有する受光素子と、を備え、 前記第2面は、前記投影光学系から該第2面までの間で気体を通過しない前記露光光を透過させる非平坦部を含むことを特徴とする露光装置。
IPC (1件)：
H01L 21/027
FI (2件)：
H01L21/30 516C ,  H01L21/30 515D
Fターム (7件)：
5F146BA04 ,  5F146BA05 ,  5F146BA11 ,  5F146CB12 ,  5F146DA02 ,  5F146DB01 ,  5F146DC12
引用特許：
出願人引用 (4件)
全件表示
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM