特許
J-GLOBAL ID：200903068598381525
液浸リソグラフィ用ウェハテーブル
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川北 喜十郎
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-518633
公開番号（公開出願番号）：特表2007-527611
出願日： 2004年06月02日
公開日（公表日）： 2007年09月27日
要約：
液体を、液浸リソグラフィシステムのレンズとウェハテーブルアセンブリの間に実質的に閉じ込めることを可能とするための方法及び装置が開示される。本発明の一態様に従えば、露光装置はレンズとウェハテーブルアセンブリを含む。ウェハテーブルアセンブリは上面を有し、ウェハを支持して、レンズ及び少なくとも1つのコンポーネントに対して動かされるように配置されている。ウェハの上面とコンポーネントの上面は各々、ウェハテーブルアセンブリの上面とほぼ同じ高さである。ウェハの上面、ウェハテーブルアセンブリの上面及び少なくとも一つのコンポーネントの上面を含むウェハテーブルアセンブリの全上面は、実質的に平面状である。
請求項（抜粋）：
レンズと、
ウェハテーブルと少なくとも一つのコンポーネントとを備え、前記ウェハテーブルアセンブリは表面を有し、前記ウェハテーブルアセンブリは、前記レンズに対して移動されるべきウェハと少なくとも一つのコンポーネントを支持するように配置され、前記ウェハの表面及び前記少なくとも1つのコンポーネントの表面は各々前記ウェハテーブルアセンブリの前記表面とほぼ同じ高さであって、
前記ウェハテーブルは液浸の用途に好適である装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L21/30 515G
, H01L21/30 515D
, G03F7/20 521
5F046BA03
, 5F046CB24
, 5F046CC01
, 5F046CC08
, 5F046DA27
