特許
J-GLOBAL ID：201403099902748875

集束イオンビーム装置

発明者：
杉山 安彦

杉山 安彦 について

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小堺 智一

小堺 智一 について

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松田 修

松田 修 について


出願人/特許権者：
株式会社日立ハイテクサイエンス

株式会社日立ハイテクサイエンス について


代理人 (3件)： 志賀 正武 ,  鈴木 慎吾 ,  西澤 和純
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-061637
公開番号（公開出願番号）：特開2014-186894
出願日： 2013年03月25日
公開日（公表日）： 2014年10月02日
要約：
【課題】エミッタの先端における広範囲のFIM像を取得することができ、広視野でFIM観察を行うこと。【解決手段】ガス電界電離型イオン源10と、ガスイオンを試料Sに向けて加速させ、イオンビーム3Aとして照射させるイオン銃部11と、集束レンズ電極35を少なくとも有し、イオンビームを集束させながら試料に照射させるビーム光学系12と、エミッタ20の先端のFIM像を取得する画像取得機構14とを備え、画像取得機構は、イオンビームの照射方向を調整するアライメント電極32と、アライメント電極にアライメント電圧を印加するアライメント制御部46と、取得したFIM像を記憶する記憶部45と、記憶部に記憶されたFIM像のうち、異なるアライメント電圧の印加時に取得された複数枚のFIM像同士を画像処理により繋ぎ合わせて1枚の合成FIM像を作成する画像処理部47と、を備える集束イオンビーム装置を提供する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
先端が先鋭化されたエミッタを有し、該エミッタの先端でガスをイオン化させてガスイオンを発生させるガス電界電離型イオン源と、 前記ガスイオンを試料に向けて引き出しながら加速させ、イオンビームとして照射させるイオン銃部と、 集束レンズ電極を少なくとも有し、前記イオンビームを集束させながら前記試料に照射させるビーム光学系と、 前記イオンビームに基づいて前記エミッタの先端のFIM像を取得する画像取得機構と、を備え、 前記画像取得機構は、 前記イオン銃部と前記集束レンズ電極との間に設けられ、前記イオンビームの照射方向を調整するアライメント電極と、 前記アライメント電極にアライメント電圧を印加するアライメント制御部と、 取得した前記FIM像を記憶する記憶部と、 前記記憶部に記憶された前記FIM像のうち、異なる前記アライメント電圧の印加時に取得された複数枚のFIM像同士を、画像処理により繋ぎ合わせて1枚の合成FIM像を作成する画像処理部と、を備えていることを特徴とする集束イオンビーム装置。
IPC (3件)：
H01J 37/22 ,  H01J 37/317 ,  H01J 27/26
FI (3件)：
H01J37/22 502C ,  H01J37/317 D ,  H01J27/26
Fターム (4件)：
5C030DF02 ,  5C030DF10 ,  5C034DD01 ,  5C034DD09
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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