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J-GLOBAL ID：201502200418195915   整理番号：15A0966918

携帯型光干渉顕微鏡システムの開発

Development of a Portabled Optical Interferometry Microscope System

著者 (6件)： NISHIMOTO Hiroyuki (Yonago Coll., Tottori, JPN) ,  YAMAGUCHI Kenji (Yonago Coll., Tottori, JPN) ,  KIMURA Katsunori (Tottori Inst. Industrial Technol., Tottori, JPN) ,  SUZUKI Yoshiaki (Tottori Inst. Industrial Technol., Tottori, JPN) ,  UEHARA Kazutake (Tottori Univ. Hospital, Tottori, JPN) ,  FUJITA Tsuyoshi (Yonago Coll., Tottori, JPN)
資料名： Key Engineering Materials  (Key Engineering Materials)
巻： 656/657  ページ： 561-566  発行年： 2015年 
JST資料番号： D0744C  ISSN： 1013-9826  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 微小変位測定に光干渉法が利用されているが,高価であるなどの問題がある。これを解決するために,光干渉法を利用した携帯型の顕微鏡システムについて検討した。光源には,タングステンハロゲン電球を利用し,光源からの光を光フィルタで調整した。数値開口0.3の対物レンズを利用することで,10の倍率と3.056μmの焦点深度を実現した。CCDカメラで干渉画像を観測した。解像度は320×240ピクセルであった。圧電アクチュエータでテーブルを移動させて,位相シフト干渉画像を得た。鋼球やゲージブロックなどを評価した。これらの結果から,高性能な携帯型顕微鏡システムを安価に製造できることが分かった。

シソーラス用語： *干渉顕微鏡 ,  光干渉 ,  システム設計 ,  携帯型 ,  *光干渉法 ,  光学フィルタ ,  アクチュエータ ,  圧電素子 ,  タングステン ,  対物レンズ ,  変位測定 ,  変位 ,  ハロゲン電球 ,  開口数 ,  倍率 ,  焦点深度 ,  画像 ,  干渉 ,  分解能 ,  位相シフト ,  球 ,  圧電アクチュエータ ,  鋼球 ,  微小変位
準シソーラス用語： タングステンハロゲン電球 ,  干渉画像

分類 (2件)： 光学的測定とその装置一般  (BD07010S) ,  干渉測定と干渉計  (BD07070G)

タイトルに関連する用語 (4件)： 携帯型 ,  光干渉 ,  顕微鏡システム ,  開発