様々なターゲット組成と様々なパルス長で堆積したアルミニウムリッチHPPMS (Cr<sub>1-x</sub>Al<sub>x</sub>)N被覆

BOBZIN K.; BROEGELMANN T.; BRUGNARA R.H.

文献

J-GLOBAL ID：201502200450248320 整理番号：15A1230443

様々なターゲット組成と様々なパルス長で堆積したアルミニウムリッチHPPMS (Cr_1-xAl_x)N被覆

Aluminum-rich HPPMS (Cr_1-xAl_x)N coatings deposited with different target compositions and at various pulse lengths

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巻： 122 号： PA ページ： 201-207 発行年： 2015年12月
JST資料番号： E0347A ISSN： 0042-207X 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

高電力のパルスマグネトロンスパッタリングではターゲットの特性とパルス配置が重要な因子である。本研究では,パルス長,すなわちデューティサイクルがHPPMSプロセスと,工業規模のユニットで詰まったターゲットにより堆積したAlリッチHPPMS(Cr_1-xAl_x)N被覆の特性に及ぼす効果の分析を扱う。結果は,パルス長がt_on=200μsから40μsへ短くなると,ピーク電力密度は0.32kW/cm²からt0.86kW/cm²へと高くなることを示す。アルミニウム含有量がx=68at%とx=76at%の間の高いアルミニウム含有量の(Cr_1-xAl_x)N被覆が形成された。同じパルス長で様々なAlリッチターゲットを使うと,蒸着速度は一定の挙動を見せた。各被覆で立方晶と六方晶が混合した(Cr_1-xAl_x)N相が見いだされた。さらに,長いパルス配置に比べて短いパルス長では,高いピーク電流と電力密度が原因となって,微細で高密度の形態と滑らかな表面が観測された。最高の硬度H_U=30.0GPaと中程度の弾性率E_IT=421GPaが,t_on=40μsのパルス長,すなわち2%のデューティサイクルで堆積した(Cr_0.30Al_0.70)N被覆で実現した。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

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その他の無機化合物の薄膜 , 固体の機械的性質一般

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様々なターゲット組成と様々なパルス長で堆積したアルミニウムリッチHPPMS (Cr1-xAlx)N被覆

様々なターゲット組成と様々なパルス長で堆積したアルミニウムリッチHPPMS (Cr_1-xAl_x)N被覆