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J-GLOBAL ID：201502200570398707   整理番号：15A0596592

DSIMSでの飽和効果の補正法の評価のためのVAMASラウンドロビン研究の最終報告

Final report on VAMAS round-robin study to evaluate a correction method for saturation effects in DSIMS

著者 (12件)： TAKANO Akio (NTT Advanced Technol. Corp. (NTT-AT), Kanagawa, JPN) ,  NONAKA Hidehiko ,  HOMMA Yoshikazu ,  TOMITA Mitsuhiro ,  MURASE Atsushi ,  HAYASHI Syunichi ,  BAROZZI Mario ,  KIM Kyung Joon ,  SYKES David ,  SIMONS David ,  BENNETT Joe ,  MAGEE Charles W.
資料名： Surface and Interface Analysis  (Surface and Interface Analysis)
巻： 47  号： 6  ページ： 681-700  発行年： 2015年06月 
JST資料番号： E0709A  ISSN： 0142-2421  CODEN： SIANDQ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 新材料と標準物質に関するベルサイユプロジェクトのラウンドロビンテスト(RRT)を機器の強度スケールの直線性と補正法の評価のために2種の同位体深さプロファイルから誘導されるパラメーターによる拡張死時間モデルを利用して行った。5つの国々の9つの組織が参加した。ひ素インプラントシリコンウエハとBN膜拡散シリコンウエハは,RRTのための機器と共に産業技術総合研究所によって供給された。ひ素インプラント試料の¹⁰³(AsSi)^-と¹⁰⁵(AsSi)^-を分析した装置は,5つの4重極型SIMSと4つの磁気セクタ型SIMSを用いた。BN拡散試料からの¹⁰B⁺と¹¹B⁺の分析に用いた装置は,3つの4重極型SIMS,4つの磁気セクタ型SIMS,及び1つの飛行時間型SIMSである。筆者らは,このRRTでのすべてのSIMSの飽和強度を補正するために,拡張死時間モデルの有用性を検証した。最適拡張パラメーターは,1次プロファイル中の最大強度に対する信頼性ある最大強度の比によって影響される傾向を有する。この比から,強度が完全飽和に達するとき,ρが予測される。一方,ρは,強度の横方向不均一性によっても影響された。実際のところ,最大の強度が完全飽和に達せず,強度が横方向に均一ではないので,ρは,その予測値よりも小さい可能性が高い。Copyright 2015 Wiley Publishing Japan K.K. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *共同比較試験 ,  *二次イオン質量分析 ,  ヒ素 ,  ウエハ【IC】 ,  注入 ,  深さプロフィル ,  飽和 ,  磁場効果 ,  標準化 ,  *国際標準化機構 ,  報告書
準シソーラス用語： *ラウンドロビンテスト ,  シリコンウエハ ,  *補正法 ,  国際標準化 ,  研究報告

分類 (2件)： 質量分析  (CC03013N) ,  質量分析計  (BD02060M)

タイトルに関連する用語 (5件)： 補正法 ,  評価 ,  ラウンドロビン ,  研究 ,  報告