文献

J-GLOBAL ID：201502202490153235   整理番号：15A1284125

マイクロスケールにおける材料特性評価

Mechanical Characterization of Micro-Scale Materials

著者 (3件)： 高島和希 (熊本大学大学院自然科学研究科) ,  峯洋二 (熊本大学大学院自然科学研究科) ,  大津雅亮 (福井大学大学院工学研究科)
資料名： 塑性と加工  (Journal of the Japan Society for Technology of Plasticity)
巻： 56  号： 657  ページ： 840-844 (J-STAGE)  発行年： 2015年 
JST資料番号： G0076A  ISSN： 0038-1586  CODEN： SOKAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： MEMSデバイス開発のためには,薄膜の機械的性質を直接計測する材料試験技術の開発が必要である。そこで,本研究グループでは,MEMSデバイスの部品と同程度のサイズを有するマイクロサイズの試験片に対して,機械的性質が精度良く評価できる材料試験技術および試験法の開発を進めてきた。本稿では開発した試験機の概要,および応用例を紹介した。本試験機は,試験片に負荷を与えるアクチュエータとして圧電素子や電磁モータを用いており,引張,曲げ試験に合わせて負荷用の治具が用意され,あらゆる材料評価試験に対応可能であると説明した。これにより,微小領域における変形挙動,例えば,すべり線の発達・伝播,ボイドの形成・成長,き裂の形成・伝播の微視過程をその場で観察できると述べた。次に,マイクロ材料試験として,引張試験,疲労試験,曲げ試験,破壊靭性試験について実際例を紹介した。本試験機は,構成組織中の微小領域の機械的性質を直接計測でき,材料の強靭化設計や変形・破壊機構解明にも欠かせない材料評価が可能であると説明した。

シソーラス用語： *MEMS ,  *材料試験 ,  試験片 ,  *試験装置 ,  アクチュエータ ,  圧電素子 ,  引張試験 ,  曲げ試験 ,  ジグ ,  空洞 ,  亀裂 ,  疲れ試験 ,  破壊靱性試験 ,  *機械的性質
準シソーラス用語： *マイクロスケール ,  滑り線 ,  材料特性 ,  *材料特性評価 ,  材料評価 ,  試験法 ,  電磁モータ ,  *変形挙動

分類 (1件)： 材料試験  (HB02020U)

引用文献 (26件)：

• 1) 高島和希・肥後矢吉:検査技術,9-9(2004),1-5.
• 2) 高島和希:材料試験技術,51-3(2006),118-123.
• 3) 高島和希:検査技術,12-5(2007),1-6.
• 4) 高島和希:NSSTつうしん,No.85(2014),2-3.
• 5) 高島和希・大津雅亮・松田光弘・倉原宏明・前田英孝・米倉忠弘:特許公開番号WO2011152441.

タイトルに関連する用語 (2件)： マイクロスケール ,  材料特性評価