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J-GLOBAL ID：201502203021032431   整理番号：15A0784945

発振器応用のための縦結合MEMS共振器ペア

A Vertically Coupled MEMS Resonator Pair for Oscillator Applications

著者 (4件)： LI Ming-Huang (National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN) ,  CHEN Chao-Yu (National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN) ,  CHEN Wen-Chien (National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN) ,  LI Sheng-Shian (National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN)
資料名： Journal of Microelectromechanical Systems  (Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 24  号： 3  ページ： 528-530  発行年： 2015年06月 
JST資料番号： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 位相雑音低減のために,縦結合(VC)CMOS MWMS共振器ペアに基づくマイクロメカニカル発振器を設計した。プロトタイプ共振器ペアは互いに結合した二つの振動板で構成され,小さいフットプリントを保ちつつパワーハンドリングを高めている。6.5MHzの試作発振器,VCモード共振器はキャリアから1kHzオフセットで-97dBc/Hzと,1MHzオフセットで-118dBc/Hzの位相雑音を達成した。非共振結合サドルモードと比べると,VCモード発振器は同じ発信器回路設定を使って10dBの位相雑音低減を達成している。本稿の設計概念は将来三次元機械結合共振器設計に拡張可能である。

シソーラス用語： *MEMS ,  半導体 ,  *発振器 ,  線形性 ,  *位相雑音 ,  CMOS

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  共振器  (NC04050Y)

タイトルに関連する用語 (4件)： 発振器 ,  応用 ,  縦 ,  MEMS共振器