文献

J-GLOBAL ID：201502203176650824   整理番号：15A1230446

スパッタイオンポンプによる希ガス収着への陰極材料の影響

Influence of the cathode materials on the sorption of noble gases by sputter-ion pumps

著者 (7件)： PORCELLI Tommaso (Dipartimento di Fisica, Universita degli Studi di Milano, Via Celoria 16, 20133 Milano, ITA) ,  PORCELLI Tommaso (SAES Getters S.p.A., Viale Italia 77, 20020 Lainate, MI, ITA) ,  SIVIERO Fabrizio (SAES Getters S.p.A., Viale Italia 77, 20020 Lainate, MI, ITA) ,  BONGIORNO Gero Antonio (SAES Getters S.p.A., Viale Italia 77, 20020 Lainate, MI, ITA) ,  MICHELATO Paolo (INFN-LASA, Via Fratelli Cervi 201, 20090 Segrate, MI, ITA) ,  PAGANI Carlo (Dipartimento di Fisica, Universita degli Studi di Milano, Via Celoria 16, 20133 Milano, ITA) ,  PAGANI Carlo (INFN-LASA, Via Fratelli Cervi 201, 20090 Segrate, MI, ITA)
資料名： Vacuum  (Vacuum)
巻： 122  号： PA  ページ： 218-221  発行年： 2015年12月 
JST資料番号： E0347A  ISSN： 0042-207X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： いくつかスパッタイオンポンプの希ガスに対する排気性能を,特に様々な陰極材料を使った場合に生じる効果に焦点を当てて調べた。いくつか論文が高エネルギー中性粒子の良く知られた理論を扱っているように,ガスと金属の原子質量比は排気速度と可能な不安定性現象の発生の点で重要な因子である。そのため,これら特性評価中に収集した排気速度データはこの観点から分析して,様々な希ガスが収着中にいくつか陰極配置の挙動を予測するのに役に立つと考えられる相関を見いだした。飽和後,ArとNeの排気速度は陰極材料の平均原子質量に線形に依存することが分った。逆に言うと,Heは,その異なる排気機構のため,この方式には付着しないように見える。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： イオンポンプ【真空】 ,  収着 ,  速度 ,  電極材料 ,  *アルゴン ,  *ネオン ,  *ヘリウム
準シソーラス用語： *ガス収着 ,  *スパッタイオンポンプ ,  陰極材料 ,  排気速度

分類 (2件)： 真空技術  (BA02020L) ,  真空ポンプ  (QD04030I)

タイトルに関連する用語 (3件)： スパッタイオンポンプ ,  ガス収着 ,  陰極材料