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J-GLOBAL ID：201502203196204501   整理番号：15A0145798

ZnO/多孔質SiとTiO₂/多孔質Siのナノ複合材料ナノピラー

ZnO/porous-Si and TiO₂/porous-Si nanocomposite nanopillars

著者 (7件)： WANG Dong (Chair Materials for Electronics, Inst. of Materials Engineering and Inst. of Micro- and Nanotechnologies MacroNano ...) ,  YAN Yong (Chair Materials for Electronics, Inst. of Materials Engineering and Inst. of Micro- and Nanotechnologies MacroNano ...) ,  SCHAAF Peter (Chair Materials for Electronics, Inst. of Materials Engineering and Inst. of Micro- and Nanotechnologies MacroNano ...) ,  SHARP Thomas (Oxford Instruments Plasma Technol. Ltd., Yatton, Bristol BS49 4AP, GBR) ,  SCHOENHERR Sven (Inst. for Solid State Physics, Friedrich Schiller Univ. Jena, Max-Wien-Platz 1, 07743 Jena, DEU) ,  RONNING Carsten (Inst. for Solid State Physics, Friedrich Schiller Univ. Jena, Max-Wien-Platz 1, 07743 Jena, DEU) ,  JI Ran (SUSS MicroTec Lithography GmbH, Schleissheimer Str. 90, 85748 Garching, DEU)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 33  号： 1  ページ： 01A102-01A102-7  発行年： 2015年01月 
JST資料番号： C0789B  ISSN： 0734-2101  CODEN： JVTAD6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ZnOとTiO₂の原子層堆積用テンプレートとして多孔質Siナノピラーを用いて,ZnO/多孔質SiとTiO₂/多孔質Siのナノ複合材料ナノピラーを作製した。多孔質構造内への前駆体分子の拡散はKnudsen拡散により生じ,小さな細孔径により強く制限された。ZnO/多孔質Siナノ複合材料ナノピラーのルミネセンスも調べた。強いプラズマ処理により発光を変更,あるいは消光させることができた。このようなナノ粒子は光触媒やセンサにとって興味深い。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *多孔質シリコン ,  酸化亜鉛 ,  酸化チタン ,  半導体材料 ,  化合物半導体 ,  ナノ複合材料 ,  *ナノ構造 ,  *柱 ,  化学蒸着 ,  薄膜成長 ,  結晶成長 ,  電子顕微鏡観察 ,  *陰極線ルミネセンス ,  発光スペクトル
準シソーラス用語： *ナノピラー ,  二酸化チタン ,  原子層堆積

分類 (1件)： 半導体の結晶成長  (BK13040X)

タイトルに関連する用語 (5件)： ZnO ,  多孔質Si ,  TiO2 ,  ナノ複合材料 ,  ナノピラー