表面マイクロマシニング技術による再構成可能なメタマテリアルでのテラヘルツデバイス

HAN Zhengli; KOHNO Kenta; FUJITA Hiroyuki; HIRAKAWA Kazuhiko; TOSHIYOSHI Hiroshi

文献

J-GLOBAL ID：201502204233185420 整理番号：15A1284103

表面マイクロマシニング技術による再構成可能なメタマテリアルでのテラヘルツデバイス

Terahertz Devices with Reconfigurable Metamaterials by Surface Micromachining Technique

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著者 (5件)： , , , ,
資料名：
巻： 135 号： 11 ページ： 450-453 (J-STAGE) 発行年： 2015年
JST資料番号： L3098A ISSN： 1341-8939 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

表面MEMS(微小電氣機械システム)技術により開発された再構成可能なメタマテリアルの概念を用いることにより,同調可能なテラヘルツ(THz)デバイスを組み立てる方法を提案した。実現したメタマテリアルは,インダクタ-コンデンサ(LC)共振器に基づくユニットセルのアレイから構成されている。ユニットセルの構造,このような共振器の容量を再構成するMEMS技術を用いることにより,筆者らは,印加電圧(約40V)により制御されるメタマテリアルの同調可能な伝送を実証した。そのデバイスは,同調可能なTHzバンドストップフィルタおよび二重周波数バンドをもつ振幅変調器として用いることができる。ユニットセルに対してアレイ状形状を設計することにより,筆者らは,THz分光法やTHz通信において広範囲の用途をもつTHzレンズのようなプログラム可能なTHz空間変調器を構成する方法を提案する。(翻訳著者抄録)

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固体デバイス製造技術一般 , 固体デバイス材料

引用文献 (15件)：

(1) C. M. Soukoulis and M. Wegener : “Past achievements and future challenges in the development of three-dimensional photonic metamaterials”, Nature Photonics 5, pp. 523-530 (2011)
(2) W. J. Padilla, M. T. Aronsson, C. Highstrete, M. Lee, A. J. Taylor, and R. D. Averitt : “Electrically resonant terahertz metamaterials: Theoretical and experimental investigations”, Phys. Rev. B 75, 041102(R) (2007)
(3) H. Tao, N. I. Landy, C. M. Bingham, X. Zhang, R. D. Averitt, and W. J. Padilla : “A metamaterial absorber for the terahertz regime: Design, fabrication and characterization”, Optics Express, Vol. 16, No. 10, pp. 7181-7188 (2008)
(4) H.-T. Chen, S. Palit, T. Tyler, C. M. Bingham, J. M. O. Zide, J. F. O'Hara, D. R. Smith, A. C. Gossard, R. D. Averitt, W. J. Padilla, N. M. Jokerst, and A. J. Taylor : “Hybrid metamaterials enable fast electrical modulation of freely propagating terahertz waves”, Appl. Phys. Lett., 93, 091117 (2008)
(5) H.-T. Chen, W. J. Padilla, J. M. O. Zide, A. C. Gossard, A. J. Taylor, and R. D. Averitt : “Active terahertz metamaterial devices”, Nature, Vol. 444, pp. 597-600 (2006)

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