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J-GLOBAL ID：201502204494906702   整理番号：15A1078508

ガラスに接着したPVウェーハのa-Si:H表面不動態化のためのシリコーンプラズマ処理に対するO₂の役割

Role of O₂ radicals on silicone plasma treatments for a-Si:H surface passivation of PV wafers bonded to glass

著者 (10件)： GRANATA Stefano Nicola ,  MARCHEGIANI Alessio ,  BEARDA Twan (Imec, Kapeldreef 75, 3001, Heverlee, BEL) ,  TOUS Loic (Imec, Kapeldreef 75, 3001, Heverlee, BEL) ,  CHEYNS David (Imec, Kapeldreef 75, 3001, Heverlee, BEL) ,  ABDULRAHEEM Yaser (Kuwait Univ., Safat 13060, Kuwait) ,  GORDON Ivan (Imec, Kapeldreef 75, 3001, Heverlee, BEL) ,  SZLUFCIK Jozef (Imec, Kapeldreef 75, 3001, Heverlee, BEL) ,  MERTENS Robert (KU Leuven, Kasteelpark Arenberg 10, 3001, Leuven, BEL) ,  POORTMANS Jef
資料名： Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science  (Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science)
巻： 212  号： 9  ページ： 1946-1953  発行年： 2015年09月 
JST資料番号： D0774A  ISSN： 1862-6300  CODEN： PSSABA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ガラスに接着したウェーハの非晶質シリコン(a-Si:H)表面不動態化に対するシリコーンの否定的な影響を除去するためにシリコーン接着剤に対してアルゴン(Ar)及び酸素(O₂)プラズマ処理を行った。Ar及びO₂プラズマによりシリコーン表面の酸化が生じ,酸素/炭素比,クロスリンク,材料密度が増加した。酸化シリコーンは未処理のものより弾力がありa-Si:H不動態化処理と相互作用しないので,ガラスに接着したウェーハの最先端表面不動態化が可能となった。Ar及びO₂プラズマによってシリコーンに誘起される修正間の類似性により酸化過程におけるO₂ラジカルの二次的な役割が示唆される。更に,非晶質/結晶ヘテロ接合櫛型裏面電極型太陽電池(a-Si:H/c-Si HJ i-BC)をArプラズマ処理した自立型及び接合型ウェーハ上に作成した。このデバイスは675mVまでの開回路電圧を示し,デバイスレベルにおいて処理の有効性を実証した。Copyright 2015 Wiley Publishing Japan K.K. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： ポリシロキサン ,  アモルファスシリコン ,  *不動態化 ,  *プラズマ処理 ,  *太陽電池 ,  酸素 ,  アルゴン ,  太陽光発電 ,  ウエハ【IC】 ,  X線光電子分光法
準シソーラス用語： PV【太陽光発電】 ,  XPS ,  *アモルファスシリコン太陽電池 ,  シリコーン ,  非晶質シリコン

分類 (1件)： 太陽電池  (NC03084O)

タイトルに関連する用語 (9件)： ガラス ,  PV ,  ウェーハ ,  Si ,  表面不動態化 ,  シリコーン ,  プラズマ処理 ,  O2 ,  役割