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J-GLOBAL ID：201502204638693857   整理番号：15A1022077

エレクトロクロミックWO₃の400°Cでの低圧化学蒸着

Low Pressure CVD of Electrochromic WO₃ at 400°C

著者 (10件)： VERNARDOU Dimitra (Technological Educational Inst. of Crete, Crete, GRC) ,  PSIFIS Konstantinos (Technological Educational Inst. of Crete, Crete, GRC) ,  LOULOUDAKIS Dimitris (Technological Educational Inst. of Crete, Crete, GRC) ,  LOULOUDAKIS Dimitris (Univ. Crete, Crete, GRC) ,  PAPADIMITROPOULOS George (NCSR “Demokritos”, Athens, GRC) ,  DAVAZOGLOU Dimitris (NCSR “Demokritos”, Athens, GRC) ,  KATSARAKIS Nikolaos (Technological Educational Inst. of Crete, Crete, GRC) ,  KATSARAKIS Nikolaos (Univ. Crete, Crete, GRC) ,  KATSARAKIS Nikolaos (Foundation for Res. & Technol.-Hellas, Crete, GRC) ,  KOUDOUMAS Emmanouil (Technological Educational Inst. of Crete, Crete, GRC)
資料名： Journal of the Electrochemical Society  (Journal of the Electrochemical Society)
巻： 162  号： 9  ページ： H579-H582  発行年： 2015年 
JST資料番号： C0285A  ISSN： 1945-7111  CODEN： JESOAN  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： タングステン前駆体[W(CO)₆]蒸気を80°Cで発生させ,水平型反応器にN₂ガスにより導入し,酸素流速50,75,100sccm下で400°C,15分反応させてWO₃をFTOガラス基板上に成長させ,その結晶構造をXRD,Ramanスペクトル,形態をFE-SEMにより測定した。SEM像から,酸素流速50seemでは,粒子の凝集体形成,高流速(75,100sccm)では,機械的強度および水アセトン耐性を持つ連続体膜形成が認められた。高流速で作成した電極を作用電極とする3極セルを用い,その電気化学,光学特性を,1M LiClO₄/ポリエチレンカルボナート)電解液中での電流-電圧特性(走査電圧-1V-+1V,走査速度10mVs^-1)およびクロノアンペロメトリーにより調べた。+1V印加によるLi⁺インターカレーション電荷(Q)は16mCcm^-2,挿入電荷密度当たりのOD変化(呈色効率:ΔOD/Q)は38cm^-2C^-1で,インターカレーション(+1V)および脱インターカレーション(-1V)の応答時間はそれぞれ,43±1s,16±1sであった。また,この挙動は500スキャン後も安定に保持された。

シソーラス用語： *光学素子 ,  酸化タングステン ,  低圧 ,  *化学蒸着 ,  タングステン化合物 ,  速度依存性 ,  酸素 ,  透明電極 ,  結晶構造 ,  X線回折 ,  Ramanスペクトル ,  走査電子顕微鏡 ,  凝集体 ,  膜 ,  電極 ,  電気化学的挙動 ,  光学的性質 ,  電流電圧特性 ,  クロノアンペロメトリー ,  インターカレーション ,  応答時間 ,  *エレクトロクロミズム ,  *LPCVD
準シソーラス用語： FE-SEM ,  FTO電極 ,  エレクトロクロミックデバイス ,  *リチウムインターカレーション ,  作用電極 ,  *三酸化タングステン ,  流速依存性

分類 (4件)： 電気光学効果,磁気光学効果  (BM08020L) ,  酸化物薄膜  (BK14050P) ,  光電デバイス一般  (NC03081P) ,  塩基,金属酸化物  (CD01030Z)

タイトルに関連する用語 (1件)： 低圧化学蒸着