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J-GLOBAL ID：201502204698319857   整理番号：15A0970717

Qが100万の圧電抵抗読み出し機械結合LameモードSOI共振器

Piezoresistive Readout Mechanically Coupled Lame Mode SOI Resonator With Q of a Million

著者 (3件)： ZHU Haoshen (City Univ. Hong Kong, HKG) ,  XU Yuanjie (City Univ. Hong Kong, HKG) ,  LEE Joshua E-Y (City Univ. Hong Kong, HKG)
資料名： Journal of Microelectromechanical Systems  (Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 24  号： 4  ページ： 771-780  発行年： 2015年08月 
JST資料番号： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 一対の機械的に結合したLameモード共振器での結合梁を使い,圧電抵抗センシングによる電気機械トランスダクションを高めた。方形プレート共振器のLameモードはQ値100万が可能で,これは1.3×10¹³のfQ積に相当してシリコンのAkhiezer限界に近い値である。バイアス電流15mAで,結合梁による圧電抵抗読み出しを使ったアレイの電気的トランスダクションは,容量読み出しを使う単一Lameモード共振器よりも25dB上回った。解析的および有限要素法でデバイスの圧電抵抗エレクトロメカニカル周波数応答をモデル化した。モデルは互いに一致し,制作した共振器の測定結果で検証された。モデルによると,トランスダクション係数は共振器の横方向寸法と厚さには関係しない。

シソーラス用語： *微小共振器 ,  電気抵抗 ,  係数 ,  音波 ,  音響機器 ,  機能素子 ,  有限要素法 ,  共振器 ,  *SOI構造 ,  共振周波数
準シソーラス用語： バルク音響波 ,  マイクロ共振器 ,  *圧電抵抗 ,  音響素子 ,  品質係数

分類 (1件)： 共振器  (NC04050Y)

タイトルに関連する用語 (4件)： 圧電抵抗 ,  読み出し ,  SOI ,  共振器