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J-GLOBAL ID：201502204967420178   整理番号：15A0004713

プラスチック金型の新潮流 高出力インパルスマグネトロンスパッタリング(HiPIMS)法〈HiPIMS成膜技術の特徴とその適用〉

著者 (4件)： 渡部友太郎 (東京都産業技術研究セ) ,  寺西義一 (東京都産業技術研究セ 開発本部) ,  長坂浩志 (東京都産業技術研究セ 開発本部) ,  清水徹英 (首都大学東京 大学院システムデザイン研究科)
資料名： プラスチックス  (Japan Plastics)
巻： 65  号： 12  ページ： 17-21  発行年： 2014年12月10日 
JST資料番号： F0254A  ISSN： 0555-7887  CODEN： PRSKAW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 高出力インパルスマグネトロンスパッタリング法(HiPIMS法)は,従来法より平滑で付き回り性の良く,低温成膜の可能性がある。本稿ではHiPIMS法の基本原理とスパッタリング法との違いを記しHiPIMS法の精密金型への応用の可能性について述べる。(著者抄録)

シソーラス用語： *金型 ,  *製造 ,  出力 ,  *マグネトロンスパッタリング ,  *構成 ,  技術開発 ,  ターゲット ,  イオン化 ,  堆積 ,  *平滑度 ,  *緻密化 ,  加工 ,  *硬度 ,  射出成形
準シソーラス用語： *インパルスマグネトロンスパッタリング ,  *プラスチック成形用型 ,  *金型製作 ,  高出力 ,  *成膜 ,  *精密金型 ,  低温加工 ,  *表面硬さ

分類 (3件)： 射出成形  (YH04050Y) ,  成形工程とその装置一般  (YH04030C) ,  その他の表面処理  (WC08070F)

タイトルに関連する用語 (9件)： プラスチック ,  金型 ,  潮流 ,  高出力 ,  インパルス ,  マグネトロンスパッタリング ,  HiPIMS ,  法 ,  成膜