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J-GLOBAL ID：201502205223551590   整理番号：15A0970763

MEMS白金ヒーターと温度センサの抵抗と安定性に与える接着材料とアニーリング環境の相互作用

Interactions of Adhesion Materials and Annealing Environment on Resistance and Stability of MEMS Platinum Heaters and Temperature Sensors

著者 (4件)： YI Feng (National Inst. Standards and Technol., MD, USA) ,  OSBORN William (National Inst. Standards and Technol., MD, USA) ,  BETZ Jordan (National Inst. Standards and Technol., MD, USA) ,  LAVAN David A. (National Inst. Standards and Technol., MD, USA)
資料名： Journal of Microelectromechanical Systems  (Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 24  号： 4  ページ： 1185-1192  発行年： 2015年08月 
JST資料番号： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Pt薄膜はMEMSの抵抗やセンサとして使われている。PtはSiN基板との密着が悪いために接着層としてTiやTaの接着層が使われる。アニーリング雰囲気を変えて,接着層にTiとTaを使ったPt膜の電気安定性と微細構造を750°Cまでの熱アニーリングで評価した。アニーリング後,超高純度(UHP,99.999%)のN₂でアニールした試料の抵抗は異常に増加したが,99.95%のN₂では予期したように減少した。Ta/PtはTi/Ptよりも微細構造と電気的安定性が優れている。X線光電子分光法(XPS)データによると,UHP N₂でアニールした試料ではPt膜を通してTiやTaの拡散があり,これが抵抗増加の原因である。大気中のアニールではTiやTaの酸化が拡散を抑制し,Ptのグレイン成長が生じて抵抗が低くなっているのである。

シソーラス用語： *白金 ,  接着 ,  加熱器 ,  温度計 ,  MEMS ,  安定性 ,  計算機シミュレーション ,  焼なまし ,  *温度センサ ,  微細構造 ,  金属薄膜 ,  多層膜 ,  電気抵抗 ,  粒界拡散 ,  X線光電子分光法 ,  *半導体プロセス ,  接着剤 ,  画像分析 ,  電子顕微鏡観察 ,  *熱処理 ,  チタン ,  タンタル
準シソーラス用語： SEM画像 ,  アニーリング ,  ヒータ ,  熱解析 ,  アニール処理 ,  *熱アニール

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  その他の固体デバイス  (NC03150A)

タイトルに関連する用語 (9件)： MEMS ,  白金 ,  ヒーター ,  温度センサ ,  安定性 ,  接着材 ,  アニーリング ,  環境 ,  相互作用