抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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半導体素子の作製には一般に多くの高価な装置,作製工程が必要であり,実験,実習を重視している多くの高専において,半導体素子を作製するものづくり実験の実施は容易ではない。高専の学生は実践教育を通して半導体工学の専門知識を習得することを期待されている。本論文では,学生が半導体工学に興味を持ち,半導体工学の本質的な理解に役立てられるシリコン(Si)太陽電池作製実験教材を開発し,工学実験に導入したので報告した。Si太陽電池の作製する上で最も重要なPN接合の形成がリンケイ酸ガラスを使った簡易な方法で形成でき,アルミニウム電極の形成にメタルマスクを使うことでSi太陽電池の作製工程を大幅に簡略化することができた。Si太陽電池を作製・評価する実験教材をどのように導入するか検討後,鈴鹿高専・電気電子工学科の工学実験に導入した。実験での学生の反応から半導体工学を技術的及び物理的に理解し,学生に関心を持たすことに繋げられる効果的な実験教材を構築できた。