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J-GLOBAL ID：201502206518517810   整理番号：15A1162153

故障解析におけるナノプロービング用相関SEMとSPM

Correlating SEM and SPM for Nanoprobing in Failure Analysis

著者 (4件)： KEMMLER M. (Kleindiek Nanotechnik GmbH, Reutlingen, DEU) ,  RUMMEL A. (Kleindiek Nanotechnik GmbH, Reutlingen, DEU) ,  SCHOCK K. (Kleindiek Nanotechnik GmbH, Reutlingen, DEU) ,  KLEINDIEK S. (Kleindiek Nanotechnik GmbH, Reutlingen, DEU)
資料名： Proceedings of the International Symposium on the Physical & Failure Analysis of Integrated Circuits  (Proceedings of the International Symposium on the Physical & Failure Analysis of Integrated Circuits)
巻： 22nd  ページ： 227-230  発行年： 2015年 
JST資料番号： W1259A  ISSN： 1946-1542  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *故障解析 ,  ナノ構造 ,  *マイクロプローブ ,  *走査電子顕微鏡 ,  *電子顕微鏡観察 ,  *走査型プローブ顕微鏡 ,  集束イオンビーム ,  *SRAM ,  漏れ電流 ,  故障点標定 ,  画像 ,  半導体チップ
準シソーラス用語： SPM【顕微鏡】 ,  電流画像

分類 (2件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G) ,  半導体集積回路  (NC03162T)

タイトルに関連する用語 (4件)： 故障解析 ,  相関 ,  SEM ,  SPM