文献

J-GLOBAL ID：201502206864689822   整理番号：15A0900489

LPP EUV光源のための直径90mmの自立サブ波長格子赤外線カットフィルタ

Free-standing subwavelength grid infrared cut filter of 90mm diameter for LPP EUV light source

著者 (7件)： SUZUKI Yukio (Micro System Integration Center, Tohoku Univ., 519-1176, Aza Aoba, Aramaki Aoba-ku, Sendai 980-0845, JPN) ,  SUZUKI Yukio (Graduate School of Engineering, Tohoku Univ., 6-6-01, Aza Aoba, Aramaki Aoba-ku, Sendai 980-8579, JPN) ,  TOTSU Kentaro (Micro System Integration Center, Tohoku Univ., 519-1176, Aza Aoba, Aramaki Aoba-ku, Sendai 980-0845, JPN) ,  MORIYAMA Masaaki (Micro System Integration Center, Tohoku Univ., 519-1176, Aza Aoba, Aramaki Aoba-ku, Sendai 980-0845, JPN) ,  MORIYAMA Masaaki (Graduate School of Engineering, Tohoku Univ., 6-6-01, Aza Aoba, Aramaki Aoba-ku, Sendai 980-8579, JPN) ,  ESASHI Masayoshi (Micro System Integration Center, Tohoku Univ., 519-1176, Aza Aoba, Aramaki Aoba-ku, Sendai 980-0845, JPN) ,  TANAKA Shuji (Graduate School of Engineering, Tohoku Univ., 6-6-01, Aza Aoba, Aramaki Aoba-ku, Sendai 980-8579, JPN)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 231  ページ： 59-64  発行年： 2015年07月15日 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 次世代のリソグラフィ装置に使用するレーザー生成プラズマ(LPP)極端紫外(EUV)光源のために,直径90mmのサブ波長格子赤外線(IR)カットフィルタを製作し,6インチSiウェハ上で試験した。IRカットフィルタは格子型であり,従来の多層金属膜フィルタと比べて,高い熱安定性を持っていた。格子は5μm厚の自立モリブデン被覆Siハニカム構造で,線幅は0.35μm,ピッチは4.5μmであった。大きなサイズの自立微細構造が各プロセスステップでの注意深い膜応力の釣り合いにより製作できた。製作したIRカットフィルタは10.6μmIR光を99.7%排除した。このIRカットフィルタは最後にLPP EUV光源に搭載した。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *周期構造 ,  *格子 ,  *赤外線 ,  *フィルタ ,  ハニカム構造 ,  レーザプラズマ ,  光源 ,  *サブ波長構造 ,  EUV光源 ,  プラズマ
準シソーラス用語： レーザ生成プラズマ ,  極端紫外光源

分類 (2件)： 光学情報処理  (BD03060T) ,  光デバイス一般  (BD06010L)

タイトルに関連する用語 (5件)： EUV光源 ,  直径 ,  自立 ,  サブ波長格子 ,  赤外線