戸津健太郎

トツケンタロウ | Totsu Kentaro

所属機関・部署：
職名：教授
ホームページURL (2件)： http://www.mu-sic.tohoku.ac.jp/coin/ , http://www.mu-sic.tohoku.ac.jp/index_e.html

研究分野 (1件)：ナノマイクロシステム

研究キーワード (5件)：微細加工 , MEMS , マイクロシステム , マイクロマシン , センサ

競争的資金等の研究課題 (9件)：

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論文 (59件)：

佐々木寛充, 森山雅昭, 戸津健太郎. 単層フォトレジストによる1μm線幅リフトオフプロセスの評価-Lift-off Patterning of 1 μm Line Width using Single Layer Photoresist. 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines. 2023. 143. 7. 204-210
庄子征希, 上瀧英郎, 森山雅昭, 戸津健太郎. レーザ直接描画を用いたグレイスケールリソグラフィにおける厚膜レジストの評価. 電気学会論文誌 E. 2020. 140. 5. 35-39
Wataru Yashiro, Susumu Ikeda, Yasuo Wada, Kentaro Totsu, Yoshio Suzuki, Akihisa Takeuchi. Probing Surface Morphology using X-ray Grating Interferometry. SCIENTIFIC REPORTS. 2019. 9. 14120
Kentaro Totsu, Masaaki Moriyama, Masayoshi Esashi. MEMS research is better together. NATURE ELECTRONICS. 2019. 2. 4. 134-136
Masaaki Moriyama, Kentaro Totsu, Shuji Tanaka. Sol-Gel Deposition and Characterization of Lead Zirconate Titanate Thin Film Using Different Commercial Sols. SENSORS AND MATERIALS. 2019. 31. 8. 2497-2509

MISC (45件)：

戸津健太郎. 試作コインランドリにおけるデータ収集・利活用 : 大学共用設備におけるMEMSプロセスデータの取り扱い-特集 MEMS分野の最新動向. クリーンテクノロジー = Clean technology : クリーン環境と清浄化技術の専門誌 / クリーンテクノロジー編集部編. 2023. 33. 11. 6-9
戸津健太郎, 石下雅史. オープンコラボレーションを実現したマイクロシステム研究開発プラットフォーム. 精密工学会誌. 2022. 88. 5. 359-362
戸津健太郎. マイクロマシニング概論. 機械の研究 = Science of machine. 2022. 74. 1. 16-21
Masaaki Moriyama, Yukio Suzuki, Kentaro Totsu, Hideki Hirano, Shuji Tanaka. Metal-bonding-based hermetic wafer-level MEMS packaging technology using in-plane feedthrough: Hermeticity and high frequency characteristics of thick gold film feedthrough. ELECTRICAL ENGINEERING IN JAPAN. 2019. 206. 2. 44-53
戸津健太郎, 戸津健太郎. 機械をいじくる MEMSのものづくり,ひとづくり,ことづくり. 日本機械学会誌. 2015. 118. 1165. 726-729

特許 (8件)：

書籍 (4件)：

講演・口頭発表等 (43件)：

レーザ直接描画を用いたグレイスケールリソグラフィにおける厚膜レジストの評価
(電気学会研究会資料 2019)
MC-FAN測定温度制御方法の開発
(日本ヘモレオロジー学会総会プログラム・抄録集 2018)
異方性ウェットエッチング法によるヒトおよびラット血液流動性測定用マイクロチャネルアレイチップの高精度加工
(日本ヘモレオロジー学会総会プログラム・抄録集 2018)
Tohoku MEMS Integration and Packaging Platform in Tohoku University
(2nd French-Japanese Workshop on Micro & Nanotechnology 2016)
厚いAu膜の面内高周波フィードスルーを用いたAu-Au接合気密封止MEMSパッケージング技術
(センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM) 2016)

学歴 (2件)：

学位 (1件)：

経歴 (5件)：

受賞 (9件)：

2019/01 - 文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム平成30年度「秀でた利用成果」最優秀賞受賞広帯域波長掃引パルス量子カスケードレーザの開発
2017/03 - 応用物理学会第8回集積化MEMSシンポジウム優秀論文賞厚いAu膜の面内高周波フィードスルーを用いたAu-Au接合気密封止MEMSパッケージング技術
2016/01 - 文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム平成27年度「秀でた利用成果」音響光学フィルタの開発
2015/10 - IMAPS IMAPS2015 Best of Session Hermetic Seal Bonding at Low-temperature with Sub-micron Gold Particles for Wafer Level Packaging
2014/10 - 電気学会センサ・マイクロマシン部門第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム優秀技術論文賞超並列電子線描画装置用アクティブマトリクスナノ結晶シリコン電子源の開発と動作特性評価

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所属学会 (5件)：

応用物理学会 , 電気学会 , 日本機械学会 , IEEE , 精密工学会

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戸津 健太郎