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J-GLOBAL ID：201502207066146131   整理番号：15A0970751

共振で動作する容量MEMSにおけるセンシングステータの最適化

Optimization of Sensing Stators in Capacitive MEMS Operating at Resonance

著者 (5件)： FRANGI Attilio (Politecnico di Milano, Milan, ITA) ,  LAGHI Giacomo (Politecnico di Milano, Milan, ITA) ,  LANGFELDER Giacomo (Politecnico di Milano, Milan, ITA) ,  MINOTTI Paolo (Politecnico di Milano, Milan, ITA) ,  ZERBINI Sarah (STMicroelectronics, Castelletto, ITA)
資料名： Journal of Microelectromechanical Systems  (Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 24  号： 4  ページ： 1077-1084  発行年： 2015年08月 
JST資料番号： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 共振MEMSの感度を上げるには減衰係数を小さくすることが必要である。ガス分子の出口を作ることによるセンシングステータの形状変化で,共振容量慣性MEMSの性能がいかに改善されたかを記す。ガス分子の出口を作ることはキャパシタンス値に影響しないで減衰係数と変位への変動を小さくした。これによってシステムの品質係数が上がり,共振動作における感度と解像度が改善された。この挙動に対する理論的予測を適切な共振ビームで検証した。静電領域用FEMモデルによる設計と減衰予測のための決定論的積分モデルによる二つの構造を設計した。22μm厚の表面マイクロマシニングプロセスで制作した構造が,共振MEMS磁力計として使ったときに3倍の感度を示した。

シソーラス用語： *減衰定数 ,  係数 ,  センサ ,  *MEMS ,  分子 ,  *共振 ,  解析モデル ,  マイクロマシニング ,  磁力計 ,  静電容量
準シソーラス用語： FEMモデル ,  MEMSセンサ ,  ガス分子 ,  減衰係数 ,  *静電容量センサ ,  表面マイクロマシニング ,  品質係数

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (3件)： 共振 ,  MEMS ,  最適化