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J-GLOBAL ID：201502207252601094   整理番号：15A1096331

エバネッセント露光型ナノ光造形法に関する研究(第23報)-3光束干渉エバネッセント波造形の検討-

著者 (5件)： 鈴木裕貴 (東大) ,  鈴木邦和 (東大) ,  道畑正岐 (東大) ,  高増潔 (東大) ,  高橋哲 (東大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2015  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.I68  発行年： 2015年08月20日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： サブミクロンオーダの加工分解能を持つ高速3次元造形法を実現するため,本研究ではエバネッセント光を用いた一括面露光型光造形法を提案している。本報では,面内形状として任意の幾何学的パターンを露光するために,3光束の干渉を用いてエバネッセント光を生成する手法を提案し,解析を行う。本提案手法では,位相や入射角度の調整により,部分的に強度分布の異なる複雑な幾何学的パターンを一括で露光することが可能となる。(著者抄録)

シソーラス用語： *エバネセント波 ,  *露光 ,  高分解能 ,  積層成形 ,  *光重合型樹脂 ,  サブミクロン加工 ,  *超精密加工 ,  入射角 ,  位相 ,  入射波 ,  計算機シミュレーション ,  数値解析 ,  全反射 ,  解析モデル ,  *固体素子
準シソーラス用語： 干渉波 ,  *光造形法 ,  三次元造形 ,  入射光

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  その他の成形  (YH04090Q)

タイトルに関連する用語 (7件)： 露光 ,  光造形 ,  研究 ,  光束 ,  干渉 ,  エバネッセント波 ,  造形