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J-GLOBAL ID：201502208815446054   整理番号：15A1223750

普遍的感度用の単一円形マスを持つMEMS慣性スイッチ

A MEMS inertial switch with a single circular mass for universal sensitivity

著者 (5件)： CAO Yun (Nanjing Univ. Sci. and Technol., Nanjing, CHN) ,  XI Zhanwen (Nanjing Univ. Sci. and Technol., Nanjing, CHN) ,  YU Pingxin (Nanjing Univ. Sci. and Technol., Nanjing, CHN) ,  WANG Jiong (Nanjing Univ. Sci. and Technol., Nanjing, CHN) ,  NIE Weirong (Nanjing Univ. Sci. and Technol., Nanjing, CHN)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 25  号： 10  ページ： 105005,1-11  発行年： 2015年10月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： MEMS慣性スイッチが広く使われている。外傷性脳損傷(TBI)モニタリングやその他のアプリケーションでは,多軸加速度スイッチが重要である。本稿では,普遍的感度と長接触時間用の,フレキシブル電極を持つ低コストの慣性スイッチについて報告した。単一円形マスを使って球体の全ての半径方向で加速度を検出できる。全ての方向に対してコンプライアントであるように90°対称の4個の懸架ばねを使用した。実験と有限要素法による試験の結果,普遍的感度がこのスイッチにより達成できることが分かった。

シソーラス用語： *マイクロスイッチ ,  マイクロマシニング ,  *センサ ,  *慣性 ,  脳損傷 ,  監視 ,  原価低減 ,  半径方向 ,  速度センサ ,  加速度
準シソーラス用語： *MEMSスイッチ ,  モニタリング ,  加速度センサ ,  外傷性脳損傷 ,  *慣性センサ ,  低コスト化

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K)

タイトルに関連する用語 (5件)： 感度 ,  円形 ,  マス ,  MEMS ,  慣性