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J-GLOBAL ID：201502208883506073   整理番号：15A1057929

可視波長領域における垂直共振器型発光体のためのTiO₂膜高コントラスト回折格子反射器

TiO₂ membrane high-contrast grating reflectors for vertical-cavity light-emitters in the visible wavelength regime

著者 (6件)： HASHEMI Ehsan (Photonics Lab., Dep. of Microtechnology and Nanoscience (MC2), Chalmers Univ. of Technol., Gothenburg 41296, SWE) ,  BENGTSSON Joergen (Photonics Lab., Dep. of Microtechnology and Nanoscience (MC2), Chalmers Univ. of Technol., Gothenburg 41296, SWE) ,  GUSTAVSSON Johan S. (Photonics Lab., Dep. of Microtechnology and Nanoscience (MC2), Chalmers Univ. of Technol., Gothenburg 41296, SWE) ,  CARLSSON Stefan (Photonics Lab., Dep. of Microtechnology and Nanoscience (MC2), Chalmers Univ. of Technol., Gothenburg 41296, SWE) ,  ROSSBACH Georg (Lab. of Advanced Semiconductors for Photonics and Electronics, Inst. of Condensed Matter Physics, Ecole ...) ,  HAGLUND Åsa (Photonics Lab., Dep. of Microtechnology and Nanoscience (MC2), Chalmers Univ. of Technol., Gothenburg 41296, SWE)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻： 33  号： 5  ページ： 050603-050603-5  発行年： 2015年09月 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 2166-2746  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究において,著者は,犠牲層としてSiO₂を用いたTiO₂におけるエアサスペンデッド型高コントラスト回折格子を用いたGaNベース垂直共振器型発光体のための高反射率,高バンド幅フィードバックミラーを実現するための新奇なルートを記述した。屈曲の無い,ほぼ理想的な正方形断面を持つ回折格子バーを生み出すためのTiO₂膜の蒸着とエッチングプロセスを開発した。作製した高コントラスト回折格子の測定された反射スペクトルは,横磁場偏光に対して,435nm付近に中心を持ち25nmの波長スパンにわたって95%以上の高い反射率を持ち,シミュレーションと非常に良い一致を示した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *可視光 ,  *物質 ,  酸化チタン ,  酸化物 ,  薄膜 ,  化合物半導体 ,  *回折格子 ,  *反射器 ,  垂直共振器形面発光レーザ ,  層 ,  フィードバック ,  エッチング ,  反射スペクトル ,  反射率
準シソーラス用語： *発光体 ,  酸化物薄膜 ,  酸化物半導体 ,  犠牲層

分類 (1件)： 光デバイス一般  (BD06010L)

タイトルに関連する用語 (8件)： 波長領域 ,  垂直 ,  共振器 ,  発光体 ,  TiO2 ,  高コントラスト ,  回折格子 ,  反射器