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J-GLOBAL ID：201502208890270379   整理番号：15A1245095

MOPA配列中のレーザシステムに関する同調型ガルボおよびポリゴンスキャナを使った超高精度表面構造法の改良

Improvements in ultra-high precision surface structuring using synchronized galvo or polygon scanner with a laser system in MOPA arrangement

著者 (3件)： ZIMMERMANN M. (Bern Univ. Applied Sci., Burgdorf, CHE) ,  JAEGGI B. (Bern Univ. Applied Sci., Burgdorf, CHE) ,  NEUENSCHWANDER B. (Bern Univ. Applied Sci., Burgdorf, CHE)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 9350  ページ： 935016.1-935016.8  発行年： 2015年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ピコ秒レーザ微細加工法は,高精度表面加工に用いられている。表面加工に際しては,レーザパルスビームは,電流測定型(ガルボ)又はポリゴンスキャナなどの機械的偏向システムによって目標上に分散される。筆者らは,既報の中で,主振動器電力増幅器(MOPA)配列におけるピコ秒レーザシステムに関する同調型ガルボスキャナ又はポリゴン線状スキャナの性能を調べた。本稿では,位置決めに関する絶対精度を改善する新しい方法を開発した。この方法により,工業製品の表面加工を超高精度で実現出来る。

シソーラス用語： *レーザ加工 ,  パルスレーザ ,  *微細加工 ,  *表面加工 ,  精度 ,  走査装置
準シソーラス用語： スキャナ ,  *ピコ秒レーザ ,  *高精度

分類 (1件)： 特殊加工  (QC04000Y)

タイトルに関連する用語 (4件)： MOPA ,  レーザシステム ,  同調型 ,  表面構造