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J-GLOBAL ID：201502209058459247   整理番号：15A1096299

カーボンナノチューブ複合めっきによるダイヤモンド電着ワイヤーの砥粒保持力の改善

著者 (2件)： 村岡潤一 (山形県工技セ) ,  鈴木庸久 (山形県工技セ)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2015  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.H67  発行年： 2015年08月20日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 高硬度脆性材料の切断に用いられるダイヤモンド電着ワイヤーは,砥粒埋込率が低いため,砥粒が容易に脱落し,加工能率および加工面品質を悪化させている。そこで本研究では,カーボンナノチューブ複合めっきを用いた高い砥粒保持力を有するダイヤモンド電着ワイヤーを設計し,試作した。さらに,試作した電着ワイヤーを用いた結晶系シリコンに対する加工試験を行い,その工具寿命を評価した。(著者抄録)

シソーラス用語： ダイヤモンド砥石 ,  *スライス ,  *ウエハ【IC】 ,  カーボンナノチューブ ,  *複合めっき ,  ニッケル ,  砥粒 ,  *把持【操作】 ,  工具寿命
準シソーラス用語： CNT【炭素】 ,  *ダイヤモンド電着ワイヤー ,  ダイヤモンド砥粒 ,  単結晶シリコン ,  *電着ダイヤモンド砥石 ,  把持力

分類 (2件)： 固体デバイス材料  (NC03020K) ,  ガラスの製造  (YC02020O)

タイトルに関連する用語 (7件)： カーボンナノチューブ ,  複合めっき ,  ダイヤモンド ,  電着 ,  ワイヤー ,  砥粒 ,  保持力