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J-GLOBAL ID：201502209258101834   整理番号：15A0328792

誘電アクチュエータ上の液滴駆動と膜バルク音響共振器センサを持つモノリシック集積化システム

Monolithic integrated system with an electrowetting-on-dielectric actuator and a film-bulk-acoustic-resonator sensor

著者 (8件)： ZHANG Menglun (Tianjin Univ., Tianjin, CHN) ,  CUI Weiwei (Tianjin Univ., Tianjin, CHN) ,  CHEN Xuejiao (Tianjin Univ., Tianjin, CHN) ,  WANG Chao (Tianjin Univ., Tianjin, CHN) ,  PANG Wei (Tianjin Univ., Tianjin, CHN) ,  DUAN Xuexin (Tianjin Univ., Tianjin, CHN) ,  ZHANG Daihua (Tianjin Univ., Tianjin, CHN) ,  ZHANG Hao (Tianjin Univ., Tianjin, CHN)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 25  号： 2  ページ： 025002,1-9  発行年： 2015年02月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文で筆者らは,誘電上の液滴駆動(EWOD)アクチュエータと膜バルク音響共振器(FBAR)センサを1チップ上に合体させた完全集積化システムを示した。EWODアクチュエータは液滴を扱い,FBARセンサ上あるいははずして正確で高信頼に配置し得る。Hg2+検出に対するEWOD-FBARシステムの感度と検出限界を明らかにした。EWODとFBARの組み合わせは集積化システムに,小型,自動汚染なし運転,改善信号雑音比などの多くの利点をもたらした。今後の研究において,サンプル前処理,サンプル分離,サンプルフィルタリング,サンプル混合そして並列検出のような複数分析運転を実行するために,EWODアクチュエータとFBARセンサを合体させた更に高性能なシステムを開発する。

シソーラス用語： アクチュエータ ,  *界面電気現象 ,  膜 ,  *音響共振器 ,  音波 ,  *センサ ,  集積 ,  集中方式 ,  液滴 ,  検出 ,  感度 ,  検出限界
準シソーラス用語： バルク音響波 ,  *モノリシック集積化 ,  *液滴駆動 ,  *集積化システム

分類 (3件)： その他の電子回路  (NC05090X) ,  計測機器一般  (AD02000X) ,  水銀とその化合物  (SB05023Z)

タイトルに関連する用語 (5件)： アクチュエータ ,  液滴駆動 ,  バルク ,  音響共振器 ,  集積化システム