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J-GLOBAL ID:201502209377305996   整理番号:15A1097707

Cuの超臨界液体堆積用途での混合した超臨界CO2とH2システム中のビス-(2,2,6,6-テトラメチル-3,5-ヘプタンジオナート)銅(II)の溶解度

Solubility of bis-(2,2,6,6-tetramethyl-3,5-heptanedionato)copper(II) in mixed supercritical CO2 and H2 systems for application in supercritical fluid deposition of Cu
著者 (9件):
資料名:
巻: 105  ページ: 193-200  発行年: 2015年10月 
JST資料番号: W1591A  ISSN: 0896-8446  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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分光法を使用して,40~100°Cと11~20MPaで純粋な超臨界CO2(scCO2)およびH2とscCO2の2成分混合物中でのビス(2,2,6,6-テトラメチル-3,5-ヘプタンジオナート)銅(II)の溶解度を測定した。scCO2中の溶解度はCO2の密度に依存していた。scCO2へのH2の添加は溶解度にマイナスの影響を持っていて,H2の一定のモル分率で溶解度はCO2の密度に比例していた。Mendez-Santiago-TejaやSauceauらの提案した方程式は,純粋CO2と2成分システムの溶解度を関連付けできる。この手法は,Cuの超臨界液体堆積(SCFD)のために前駆体濃度を決定する方式を提供する。最適なCu-SCFDのための前駆体供給システムについて議論した。さらに,scCO2へのO2とN2の添加でも同じ影響が見られた。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.
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分類 (2件):
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その他の流体処理  ,  その他の無機工業薬品,無機材料 
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