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J-GLOBAL ID：201502209493024392   整理番号：15A1035852

アモルファス酸化バナジウム薄膜に基づく高感度17μmピクセルピッチ640×512非冷却赤外焦点面アレイ

High Sensitivity 17μm Pixel Pitch 640×512 Uncooled Infrared Focal Plane Arrays Based on Amorphous Vanadium Oxide Thin Films

著者 (7件)： WANG P. (Huazhong Univ. Sci. and Technol., Wuhan, CHN) ,  CHEN S. (Shenzhen Inst. Advanced Technol., Chinese Acad. Sci., Shenzhen, CHN) ,  GAN X. (Yantai IRay Technol. Co., Ltd., Yantai, CHN) ,  SUN R. (Yantai IRay Technol. Co., Ltd., Yantai, CHN) ,  CHEN W. (Yantai IRay Technol. Co., Ltd., Yantai, CHN) ,  YANG S. (Yantai IRay Technol. Co., Ltd., Yantai, CHN) ,  WANG H. (Yantai IRay Technol. Co., Ltd., Yantai, CHN)
資料名： IEEE Electron Device Letters  (IEEE Electron Device Letters)
巻： 36  号： 9  ページ： 923-925  発行年： 2015年09月 
JST資料番号： B0344B  ISSN： 0741-3106  CODEN： EDLEDZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 近年,小ピッチマイクロボロメータに基づく非冷却赤外焦点面アレイ(IRFPAs)は世界的に研究されている。しかし,小ピクセル検出器のNETD(温度分解能)や熱時定数を維持することが大きな課題である。本稿では,アモルファス酸化バナジウム薄膜に基づく二重犠牲層マイクロボロメータを持つ高感度17μmピッチ640×512フォーマットIRFPAについて報告した。周波数選択第二プラットフォームを導入することにより,このマイクロボロメータの感度は8~14μmスペクトル帯に対してほぼ30%向上した。周囲温度300Kで雑音等価温度差35mK以下が得られた。

シソーラス用語： *酸化バナジウム ,  センサ ,  *ボロメータ ,  *赤外検出器 ,  分解能 ,  温度 ,  時定数
準シソーラス用語： マイクロボロメータ ,  温度分解能 ,  焦点面アレイセンサ ,  熱時定数

分類 (1件)： 温度測定,温度計  (AD06010K)

タイトルに関連する用語 (7件)： アモルファス ,  酸化バナジウム ,  薄膜 ,  高感度 ,  ピクセルピッチ ,  赤外 ,  焦点面アレイ