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J-GLOBAL ID：201502210392296772   整理番号：15A0973310

テクスチャ化単結晶シリコン基板へのスピンコート法による反射防止膜の形成と光学的特性

著者 (4件)： 眞利子岳比郎 (成蹊大 大学院理工学研究科) ,  山田拓也 (成蹊大 大学院理工学研究科) ,  渡邊良祐 (成蹊大 大学院理工学研究科) ,  齋藤洋司 (成蹊大 大学院理工学研究科)
資料名： 日本材料科学会学術講演大会講演予稿集  (日本材料科学会主催学術講演大会講演予稿集)
巻： 2015  ページ： 49-50  発行年： 2015年06月05日 
JST資料番号： L5505A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *太陽電池 ,  エネルギー変換効率 ,  基板 ,  *ケイ素 ,  *単結晶 ,  *テクスチャ処理 ,  *反射防止膜 ,  スピンコーティング ,  アルカリ処理 ,  *酸化チタン ,  焼成 ,  多層膜 ,  *反射率 ,  減少 ,  *セラミック膜
準シソーラス用語： 積層膜 ,  単結晶シリコン ,  反射率低減 ,  変換効率

分類 (3件)： 太陽電池  (NC03084O) ,  酸化物薄膜  (BK14050P) ,  光物性一般  (BM08010A)

タイトルに関連する用語 (5件)： テクスチャ ,  単結晶シリコン基板 ,  スピンコート ,  反射防止膜 ,  光学的特性