文献

J-GLOBAL ID：201502210565857448   整理番号：15A0486732

MEMSの信頼性:不良メカニズムの展望,改善ソリューションおよび開発レベルにおけるベストプラクティス

Reliability of MEMS: A perspective on failure mechanisms, improvement solutions and best practices at development level

著者 (1件)： IANNACCI Jacopo (Center for Materials and Microsystems - CMM, Fondazione Bruno Kessler - FBK, Via Sommarive, 18, 38123 Povo, Trento, ITA)
資料名： Displays  (Displays)
巻： 37  ページ： 62-71  発行年： 2015年04月 
JST資料番号： C0042B  ISSN： 0141-9382  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： MEMS(微小電気機械システム)デバイスの信頼性は,マイクロシステム技術ベースの市場製品が部分的にまたは完全に成功に到達しなかったことを判別することができるので,きわめて重要な側面である。しかしながら,MEMS信頼性の話題は,不良および多様な不良メカニズムについての多数の物理からなるため,ひじょうに有意に明瞭に表現される。そのため,最終応用におけるマイクロシステムの実際の動作条件(環境的および機能的)に関連して,際立った感度を必要とする。言葉を代えれば,今日では,MEMSの信頼性は,設計初期の段階からすでにまじめに考慮しなくてはならない独立した横断的規律としてみなされる。本論文の目的は,はじめに信頼性の概念の周辺の基礎的な知識を読者に提供することである。次に,MEMSの典型的な不良および不良メカニズムのもっとも適切な物理がグループ化され,ディスプレイの分野におけるそれらの利用に対する特別の注意をもって,簡潔に議論される。次に,様々な応用のための特定のMEMSの信頼性様相を改善するため価値あるソリューションの統合的な概観が,読者に提案される。ついには,革新的なMEMSベースの製品の開発チェーンの全体を通して信頼性に適切に立ち向かうため,ベストプラクティスに絞った簡潔な議論により本稿を終わらせる。以下のページで報告される話題と様相の特別な混合は,信頼性を科学の専門分野横断型として考慮する態度と同様,これまでに文献に公開されているMEMSの信頼性に関するレビューに比較しても,重要な利益をもつ寄与を提供するために貢献することは著者の信ずるところであるCopyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *MEMS ,  *信頼性 ,  *故障解析 ,  表示装置 ,  *過程 ,  *最適化手法 ,  文献展望
準シソーラス用語： *ベストプラクティス ,  *開発過程

分類 (1件)： 混成集積回路  (NC03163K)

タイトルに関連する用語 (6件)： MEMS ,  メカニズム ,  展望 ,  ソリューション ,  開発 ,  ベストプラクティス