文献

J-GLOBAL ID：201502211011412301   整理番号：15A1088327

アルカリ水溶液で反応展開パターニングする感光性ポリ(ビニレンカーボネート)類

Photosensitive poly(vinylene carbonate)s based on reaction development patterning with dilute aqueous alkaline solution

著者 (2件)： SUZUKI Mikio (Dep. of Advanced Materials Chemistry, Fac. of Engineering, Yokohama National Univ., 79-5 Tokiwadai, Hodogaya-ku ...) ,  OYAMA Toshiyuki (Dep. of Advanced Materials Chemistry, Fac. of Engineering, Yokohama National Univ., 79-5 Tokiwadai, Hodogaya-ku ...)
資料名： Polymer International  (Polymer International)
巻： 64  号： 11  ページ： 1560-1567  発行年： 2015年11月 
JST資料番号： A0918A  ISSN： 0959-8103  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ビニル系ポリマーの側鎖にあるカーボネート基の加水分解を利用しながら反応展開パターニング(RDP)のポジティブトーンのパターン形成を行った。カーボネート基を持つホモポリマーと共重合体をモノマーとしてビニレンカーボネート(VCA)を使ってラジカル重合により調製した。RDPにVCAホモポリマーを用いると不明瞭なポジティブトーンになった。つまりカーボネート基の反応性が高いために露光と非露光域間での溶解性に十分な差が無かったからである。VCAと酢酸ビニル(P(VCA-VAc))間の共重合体にデベロッパとして5.0wt%NaOH_aqを使い,RDPに用いると鮮明なポジティブトーンのパターンが良好に得られた。RDP過程の開発特性における共重合体にカーボネート基の比率が影響するのを確めた。またVCAとVAc間の比率が1:0.6となる共重合体を使うと最高のコントラストでポジティブトーンのパターンを生じると分かった。もっと希釈したデベロッパ(1.0 wt% NaOH_aq)を用いるとパターン形成もできた。通常の感光性ポリマーをアルカリ展開するには酸性基を持つか又は保護された酸性基を持つことが必要となるが,著者らはP(VCA-VAc)に感光性を付加することができた,これはその様な官能基を持っていなくても,デベロッパとして希釈した水溶性アルカリ液を使うことで成功した。Copyright 2015 Wiley Publishing Japan K.K. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *パターン形成 ,  *フォトレジスト ,  デベロッパ ,  *露光 ,  *共重合体 ,  *ビニル化合物 ,  *溶液 ,  *塩基性 ,  加水分解 ,  *酸素複素環化合物 ,  無機酸エステル ,  脂肪酸 ,  脂肪族アルコール ,  エノールエステル ,  不飽和アルコール
準シソーラス用語： アルカリ液

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

物質索引 (2件)： ビニレンカーボネート ,  酢酸ビニル

タイトルに関連する用語 (6件)： アルカリ水溶液 ,  展開 ,  パターニング ,  感光性 ,  ビニレンカーボネート ,  類