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J-GLOBAL ID：201502211283817823   整理番号：15A1020944

3次元HARPSS多結晶シリコン超小型半球殻共振ジャイロスコープ:設計,作製,及び特性評価

A 3D-HARPSS Polysilicon Microhemispherical Shell Resonating Gyroscope: Design, Fabrication, and Characterization

著者 (5件)： SHAO Peng (Georgia Inst. Technol., GA, USA) ,  SHAO Peng (Freescale Semiconductor, AZ, USA) ,  TAVASSOLI Vahid (Georgia Inst. Technol., GA, USA) ,  MAYBERRY Curtis L. (Georgia Inst. Technol., GA, USA) ,  AYAZI Farrokh (Georgia Inst. Technol., GA, USA)
資料名： IEEE Sensors Journal  (IEEE Sensors Journal)
巻： 15  号： 9  ページ： 4974-4985  発行年： 2015年09月 
JST資料番号： W1318A  ISSN： 1530-437X  CODEN： ISJEAZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 全角度超小型ジャイロスコープとして使える可能性のある,超小型半球殻共振ジャイロスコープ(μHRG)の解析,設計,作製,及び特性評価を紹介した。7段階リソグラフィーのモノリシック工程により,3次元・高アスペクト比・多結晶・単結晶シリコン(HARPSS)工程を開発して,1本のステムで支持され16枚の電気容量電極を周囲に持つ,直径1.2mm,厚さ1μmの多結晶シリコンμHRGの試作に成功した。集積化電極を使ってジャイロスコープの周波数応答を測定し,ジャイロスコープ動作を調べ,また直交ナリング電圧を印加してモード整合とモード整列に成功した。閉ループ速度感度は8.57mV/°/sであった。更に,設計と作製工程の最適化により,Qファクターを40000に改善した。

シソーラス用語： *三次元 ,  *MEMS ,  *ジャイロスコープ ,  Q値 ,  *ポリシリコン ,  *アスペクト比 ,  単結晶 ,  ケイ素 ,  *球面シェル ,  *自己整合 ,  周波数応答 ,  モード整合 ,  閉ループ系 ,  プログラムパッケージ ,  シミュレーション ,  *半球 ,  共振器 ,  最適設計 ,  LPCVD ,  *微細加工 ,  振動モード ,  温度分布 ,  半導体プロセス
準シソーラス用語： COMSOL

分類 (2件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (8件)： 3次元 ,  多結晶シリコン ,  球殻 ,  共振 ,  ジャイロスコープ ,  設計 ,  作製 ,  特性評価