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J-GLOBAL ID：201502211418855517   整理番号：15A0226968

高速繰り返しコムレーザを使用した時間的コヒーレンス光ファイバ干渉計を用いたCMMの高精度キャリブレーション

High-accuracy calibration of CMM using temporal-coherence fiber interferometer with fast-repetition comb laser

著者 (5件)： CHANTHAWONG Narin (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  CHANTHAWONG Narin (National Inst. Metrology(Thailand), Pathumthani, THA) ,  TAKAHASHI Satoru (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  TAKAMASU Kiyoshi (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  MATSUMOTO Hirokazu (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
資料名： Key Engineering Materials  (Key Engineering Materials)
巻： 625  ページ： 66-72  発行年： 2015年 
JST資料番号： D0744C  ISSN： 1013-9826  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 現在のレーザ干渉計は,連続レーザ干渉縞計数で操作される。連続レーザの一つの制約は,インクリメンタル測定である。測定経路は,測定期間中に中断することができない。著者等は,短パルスモード同期ファイバレーザから新しい絶対干渉計システムを開発した。Fabry-Perotエタロン(FPE)を,波長1.55μmにおけるモードロックコムレーザの繰り返し周波数モードの高周波部分の選択に使用する。新しいファイバ型FPEによって実現される5GHzの繰り返し修正レーザ光が,ファイバ型マイケルソン干渉計に送られ,干渉縞は,時間的コヒーレンス干渉を示し,空間的な位置を測定するために使用することができます。修正されたパルス列の異なる対の間の時間的コヒーレンスは,絶対長さ基準と呼ばれる。CMMの性能は,2つの干渉縞パターンの異なる位置から直接決定できる。

シソーラス用語： *座標測定機 ,  *検証 ,  *レーザ干渉計 ,  ファイバレーザ ,  エタロン ,  周波数 ,  干渉縞 ,  コヒーレンス ,  Michelson干渉計 ,  Fabry-Perot共振器
準シソーラス用語： 光周波数コム ,  時間的コヒーレンス

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (7件)： コム ,  レーザ ,  時間的コヒーレンス ,  光ファイバ ,  干渉計 ,  CMM ,  キャリブレーション