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J-GLOBAL ID：201502211524612519   整理番号：15A1152392

タングステン添加酸化亜鉛薄膜のセンサ評価

著者 (6件)： 坂口勲 (物質・材料研究機構) ,  齋藤紀子 (物質・材料研究機構) ,  安達裕 (物質・材料研究機構) ,  渡邉賢 (物質・材料研究機構) ,  鈴木拓 (物質・材料研究機構) ,  菱田俊一 (物質・材料研究機構)
資料名： 日本セラミックス協会秋季シンポジウム講演予稿集(CD-ROM)
巻： 28th  ページ： ROMBUNNO.2PS01  発行年： 2015年09月01日 
JST資料番号： L2240B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *酸化亜鉛 ,  *添加 ,  *半導体薄膜 ,  *パルスレーザ蒸着 ,  基板 ,  サファイア ,  *ガスセンサ ,  *脂肪族アルコール ,  *感度 ,  *タングステン ,  水素 ,  鉱石 ,  宝石
準シソーラス用語： パルスレーザ堆積

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  分析機器  (CC02020S)

物質索引 (1件)： エタノール

タイトルに関連する用語 (3件)： タングステン ,  酸化亜鉛薄膜 ,  評価