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J-GLOBAL ID：201502212027382042   整理番号：15A1063060

負荷コイルにおけるRF電圧と電流の直接測定用新規プローブを用いて標準および低ガスフローICPの電気特性に関する研究と対応するICP出力の計算

Investigation of the electrical properties of standard and low-gas-flow ICPs using novel probes for the direct measurements of RF voltage and current in the load coil and the corresponding calculation of the ICP power

著者 (5件)： VORONOV M. (IFW Dresden, Inst. for Complex Materials, P.O. Box 270116, D-01171 Dresden, Germany. [e-mail]) ,  HOFFMANN V. ,  BIRUS D. ,  ENGELHARD C. ,  BUSCHER W.
資料名： Journal of Analytical Atomic Spectrometry  (Journal of Analytical Atomic Spectrometry)
巻： 30  号： 10  ページ： 2089-2098  発行年： 2015年10月23日 
JST資料番号： C0770C  ISSN： 0267-9477  CODEN： JASPE2  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 誘導結合プラズマ(ICP)の負荷コイルにおける高周波(RF)電圧および電流の直接測定用新規プローブを示す。これらの測定に基づいて,ICPにおける出力の計算方法を開発する。湿潤性エアロゾル導入を備えた標準ICPトーチにおいて広範囲の操作条件でICPの電気的パラメータを測定する。更に,いわゆる”静的高感度ICP”(SHIP)トーチを用いてほんの0.6L/分という非常に低いアルゴン流量でICPを操作するとき,電気パラメータの変化をモニターする。新しいRFプローブでの直接測定によって,時間の関数としてプラズマ特性の進化を追求することが可能になる。注目すべきは,RF発生器でプラズマ出力とRF発生器の温度変化間には強い相関性があることが見出される。プラズマパラメータによっては,測定プラズマ出力は(供給元のソフトウェアの設置で)印加された出力と有意に異なることが示された。Copyright 2015 Royal Society of Chemistry All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST

シソーラス用語： *誘導結合プラズマ ,  *電気的性質 ,  電流 ,  電圧 ,  出力 ,  インダクタ ,  プローブ
準シソーラス用語： 高周波電流

分類 (1件)： プラズマ一般  (BJ02010B)

タイトルに関連する用語 (9件)： RF電圧 ,  直接測定 ,  プローブ ,  標準 ,  ガスフロー ,  ICP ,  電気特性 ,  研究 ,  計算