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J-GLOBAL ID：201502212838145601   整理番号：15A0978730

ガウシアン形状ATカット水晶振動子の質量応答特性の評価

Evaluation of mass response characteristics of Gaussian-shaped AT-cut quartz crystal resonator

著者 (5件)： 轡田浩規 (新潟大) ,  渡辺将 (新潟大) ,  気谷裕樹 (新潟大) ,  寒川雅之 (新潟大) ,  安部隆 (新潟大)
資料名： 電気学会フィジカルセンサ研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： PHS-15  号： 31-43  ページ： 9-12  発行年： 2015年07月02日 
JST資料番号： L2897B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： フォトリソグラフィ法を用いてガウシアン形状の水晶振動子を作製し,コンダクタンススペクトルから算出したQ値およびインピーダンススペクトルによって,その安定性を評価した。さらに,上記ガウシンアン形状水晶振動子の電極上に微粒子モデルを作製し,電極上の各位置における質量応答特性について評価した。その結果,ガウシンアン形状水晶振動子はコンベックス形状のものと比較してより高い振動安定性を備え,最適化されたガウシアン形状のQ値はコンベックス形状に比べて1.2倍であること,また,電極の中心部に向かうにつれて感度は高くなり,Sauerbreyの理論値と比較して約3.0倍の感度があること-等が分かった。

シソーラス用語： *ATカット ,  *水晶振動子 ,  フォトリソグラフィー ,  Q値 ,  インピーダンススペクトル ,  応答特性 ,  評価 ,  安定性
準シソーラス用語： ガウシアン ,  安定性評価

分類 (1件)： 圧電デバイス  (NC03110I)

引用文献 (6件)：

• C.K. O'Sullivan and G.G. Guilbault : ”Commercial quartz crystal microbalances theory and applications”, Biosensors & Bioelectronics, Vol.14, No.8-9 pp.663-670 (1999)
• Sara Tombelli and Marco Mascini, Leonardo Braccini, Mario Anichini, Anthony P.F. Turner : ”Coupling of a DNA piezoelectric biosensor and polymerase chain reaction to detect apolipoprotein E polymorphisms”, Biosensors & Bioelectronics, Vol.15, No.08 pp.363-370 (2000)
• 板坂洋佑・安部隆:「ドライエッチングに二重マスクを用いた小型水晶振動子の作製法」,センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM),Vol.27 pp.1-3(2010)
• Takashi Abe and Hiroki Kishi : ”A Gaussian-shaped AT-cut quartz crystal resonator”, Sensors and Actuators A Physical, Vol.166, No.2 pp.173-176 (2011)
• 気谷裕樹・渡辺将・寒川雅之・安部隆:「微細加工QCMを用いた単一微粒子計測技術の開発」,センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM),Vol.30(2013)

タイトルに関連する用語 (6件)： ガウシアン ,  ATカット ,  水晶振動子 ,  質量 ,  応答特性 ,  評価