文献
J-GLOBAL ID：201502213770005535
整理番号：15A0785575
対称トンネル電界効果トランジスタにおけるLER誘起閾値電圧変動に及ぼす二重パターニング法の影響
Impact of the double-patterning technique on the LER-induced threshold voltage variation in symmetric tunnel field-effect transistor
-
出版者サイト
複写サービスで全文入手
-
高度な検索・分析はJDreamⅢで
{{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=15A0785575&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=U0039A") }}
著者 (3件)：
,
,
資料名：
巻：
12
号：
12
ページ：
20150349-20150349 (J-STAGE)
発行年：
2015年
JST資料番号：
U0039A
ISSN：
1349-2543
資料種別：
逐次刊行物 (A)
記事区分：
短報
発行国：
日本 (JPN)
言語：
英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
文献の概要を数百字程度の日本語でまとめたものです。
部分表示の続きは、JDreamⅢ(有料)でご覧頂けます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
最近,電力密度問題に対処する代替デバイスとして対称トンネル電界効果トランジスタが提案された。その特徴は対称構造による急峻なスイッチング特性および双方向電流である。パターニング分解能を更に増強するために193nm液浸リソグラフィーを二重/多重パターニング法と一対にさせるため,[単一パターニング・単一エッチング(1P1E)に対して]二重パターニング・二重エッチング(2P2E)誘起ゲート線端粗さ(LER)がS-TFETに及ぼす影響を,各種のデバイス設計パラメータと共に調べる。最後に,2P2E法および1P1E法に対してLERに差が生じる物理的理由を調べる。(翻訳著者抄録)
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ（有料）でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
,
,
,
,
,
,
,
準シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ（有料）でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
,
,
,
分類 (1件)：
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
トランジスタ
引用文献 (25件)：
-
[1] W. Y. Choi, B. G. Park, J. D. Lee and T.-J. K. Liu: IEEE Electron Device Lett. 28 (2007) 743. DOI:10.1109/LED.2007.901273
-
[2] C. Hu, P. Patel, A. Bowonder, K. Jeon, S. H. Kim, W. Y. Loh, C. Y. Kang, J. Oh, P. Majhi, A. Javey, T.-J. K. Liu and R. Jammy: Proc. IEEE IEDM (2010) 387. DOI:10.1109/IEDM.2010.5703372
-
[3] T. Nirsch, S. Henzler, C. Pacha, P.-F. Wang, W. Hansch, G. Georgakos and D. Schmitt-Landsiedel: Proc. IEEE Conf. Nanotechnol. (2004) 402. DOI:10.1109/NANO.2004.1392364
-
[4] P. Matheu, B. Ho, Z. A. Jacobson and T.-J. K. Liu: IEEE Trans. Electron Dev. 59 (2012) 1629. DOI:10.1109/TED.2012.2191410
-
[5] S. H. Kim, H. Kam, C. Hu and T.-J. K. Liu: Proc. Symp. VLSI Technol. (2009) 178.
もっと見る
タイトルに関連する用語 (6件)：
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した文献タイトルの用語をもとにしたキーワードです
,
,
,
,
,
前のページに戻る
