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J-GLOBAL ID：201502214080563000   整理番号：15A1096254

全方位姿勢制御型光触媒ナノ加工工具に関する研究-姿勢制御ユニット創製に関する実験的検討-

著者 (5件)： 堀田陽亮 (東大) ,  CHU Bohuai (東大) ,  道畑正岐 (東大) ,  高増潔 (東大) ,  高橋哲 (東大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2015  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.G08  発行年： 2015年08月20日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究ではマイクロ光造形法などで創製された複雑な構造物に対するナノスケール修正加工が可能な微細加工工具として,光触媒励起型ナノ加工プローブと光放射圧による全方位姿勢制御ユニットからなるナノ加工工具を提案する。レーザートラップによる三次元位置制御と全方位姿勢制御を行い,ナノプローブによる回折限界に依存しない微細加工を行う。本報では,姿勢制御ユニットの創製に関して実験的に検討を行った。(著者抄録)

シソーラス用語： 微細加工 ,  *加工欠陥 ,  空間分解能 ,  *修正 ,  マイクロプローブ ,  位置制御 ,  光触媒反応 ,  光トラッピング ,  銀 ,  酸化チタン ,  二酸化ケイ素 ,  接着
準シソーラス用語： シリカ ,  ナノプローブ ,  金属還元 ,  光放射圧 ,  *修正手法 ,  *全方位姿勢制御型光触媒ナノ加工 ,  励起光

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  光化学反応  (CB08020F)

タイトルに関連する用語 (9件)： 全方位 ,  姿勢制御 ,  光触媒 ,  加工工具 ,  研究 ,  姿勢 ,  制御ユニット ,  創製 ,  実験