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J-GLOBAL ID:201502214333208792   整理番号:15A1047626

大気圧マイクロプラズマによるDLC局所成長

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資料名:
巻: 76th  ページ: ROMBUNNO.16P-2Q-5  発行年: 2015年08月31日 
JST資料番号: Y0055B  ISSN: 2758-4704  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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分類 (1件):
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その他の無機化合物の薄膜 
物質索引 (1件):
物質索引
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タイトルに関連する用語 (3件):
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