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J-GLOBAL ID：201502214333208792   整理番号：15A1047626

大気圧マイクロプラズマによるDLC局所成長

著者 (3件)： 吉木宏之 (鶴岡工高専) ,  柳生凌 (鶴岡工高専) ,  柳生凌 (東北電力)
資料名： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 76th  ページ： ROMBUNNO.16P-2Q-5  発行年： 2015年08月31日 
JST資料番号： Y0055B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： プラズマ ,  *ダイヤモンド状炭素 ,  薄膜成長 ,  プラズマ流 ,  発光 ,  発光分析 ,  *プラズマCVD ,  アルミニウム ,  ウエハ【IC】 ,  アルカン ,  ヒドロキシ基 ,  プラズマ発光 ,  大気圧マイクロプラズマ ,  シリコンウエハ
準シソーラス用語： ヒドロキシル基 ,  DLC【炭素】 ,  シリコン基板

分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

物質索引 (1件)： メタン

タイトルに関連する用語 (3件)： 大気圧マイクロプラズマ ,  DLC ,  成長