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J-GLOBAL ID:201502215583825556   整理番号:15A1056983

イオン注入Siの中性子照射による結晶性回復と温度依存性

著者 (13件):
資料名:
巻: 157th  ページ: ROMBUNNO.230  発行年: 2015年09月02日 
JST資料番号: S0988B  ISSN: 2433-3093  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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分類 (2件):
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半導体の放射線による構造と物性の変化  ,  中性子との相互作用 

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