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J-GLOBAL ID:201502215894498176   整理番号:15A1234388

サブナノメータ表面振動の特性評価のためのストロボ全場干渉計の安定化

Stabilized Stroboscopic Full-Field Interferometer for Characterization of Subnanometer Surface Vibrations
著者 (3件):
資料名:
巻: 24  号:ページ: 1642-1646  発行年: 2015年10月 
JST資料番号: W0357A  ISSN: 1057-7157  CODEN: JMIYET  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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振動測定を可能にするために,ストロボLED照明を用いるMichelson型ホモダイン全場干渉計において実行したソフトウェアベース安定化スキームを述べた。このソフトウェア安定化全場干渉計セットアップの性能を,容量励起矩形プレートMEMS共振器における12MHzでの振動モードのOP成分の位相及び絶対振幅データを測定することにより実証した。この測定において,30pm以下の最小検出可能振幅を達成した。この検出限界は,僅か2nmの最大振動振幅とともに,振動場の詳細な特性評価に対して十分なダイナミックレンジを与えた。
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分類 (2件):
分類
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振動の励起・発生・測定  ,  干渉測定と干渉計 

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