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J-GLOBAL ID：201502216487870929   整理番号：15A0508051

電気化学FM-AFMを用いたイオン液体/ルブレン(001)界面における探針誘起ナノリソグラフィー

著者 (9件)： 坂東賢一 (大阪大 大学院) ,  原援又 (大阪大 大学院) ,  森野裕介 (大阪大 大学院) ,  岡田悠悟 (東大 大学院) ,  今西哲士 (大阪大 大学院) ,  横田泰之 (大阪大 大学院) ,  植村隆文 (東大 大学院) ,  竹谷純一 (東大 大学院) ,  福井賢一 (大阪大 大学院)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 62nd  ページ： ROMBUNNO.13A-D14-11  発行年： 2015年02月26日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *イオン液体 ,  *リソグラフィー ,  FET【トランジスタ】 ,  顕微鏡観察 ,  制御 ,  溶出 ,  電気化学 ,  原子間力顕微鏡法
準シソーラス用語： FM-AFM ,  *ナノリソグラフィー ,  OFET ,  界面制御

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

物質索引 (2件)： BMITFSI ,  ルブレン

タイトルに関連する用語 (8件)： 電気化学 ,  FM-AFM ,  イオン液体 ,  ルブレン ,  界面 ,  探針 ,  誘起 ,  ナノリソグラフィー