文献

J-GLOBAL ID：201502217135684286   整理番号：15A1044423

量子ナノディスク製造用GaAs材料の中性粒子ビームエッチングの洞察

Insights of Neutral Beam Etching of GaAs materials for quantum nanodisks fabrication

著者 (4件)： THOMAS Cedric (Tohoku Univ.) ,  HIGO Akio (Tohoku Univ.) ,  OKADA Takeru (Tohoku Univ.) ,  SAMUKAWA Seiji (Tohoku Univ.)
資料名： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 76th  ページ： ROMBUNNO.13P-1F-7  発行年： 2015年08月31日 
JST資料番号： Y0055B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *量子ドット ,  *ヒ化ガリウム ,  エッチング ,  *中性粒子ビーム ,  *半導体プロセス ,  塩素 ,  *ナノ構造 ,  *柱
準シソーラス用語： *ガリウムヒ素 ,  *中性粒子ビームエッチング ,  *ナノピラー

分類 (1件)： プラズマ応用  (BJ02110K)

タイトルに関連する用語 (6件)： 量子 ,  ナノディスク ,  GaAs ,  中性粒子ビーム ,  エッチング ,  洞察