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J-GLOBAL ID:201502217188866432   整理番号:15A1407450

分子線エピタキシーを用いて成長させたScxGa1-xN薄膜の微細構造への金属の豊富な成長条件の効果

The effect of metal-rich growth conditions on the microstructure of ScxGa1-xN films grown using molecular beam epitaxy
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巻: 212  号: 12  ページ: 2837-2842  発行年: 2015年12月 
JST資料番号: D0774A  ISSN: 1862-6300  CODEN: PSSABA  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: ドイツ (DEU)  言語: 英語 (EN)
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金属の豊富な条件で分子線エピタキシーを使用して0≦x≦0.50のエピタキシャルScxGa1-xN薄膜を成長させた。ScxGa1-xN成長率は,金属の豊富な成長条件の使用にもかかわらず,Scフラックスを増やすことで上昇した。これはScの存在によって誘発されるN2の分解促進に起因する。ミクロ構造解析は,純粋相ウルツ鉱ScxGa1-xNがx = 0.26まで達成されることを示した。これは以前報告された窒素豊富条件より,かなり高い。金属豊富条件の使用がウルツ鉱相ScxGa1-xNを安定化させるのを助けることを示した。Copyright 2015 Wiley Publishing Japan K.K. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.
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分類 (1件):
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金属薄膜 
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