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J-GLOBAL ID：201502217515173454   整理番号：15A1248754

均一な多層W膜における表面粗化動力学の抑制

Suppression of surface roughening kinetics of homogenously multilayered W films

著者 (7件)： YANG J. J. (Key Lab. of Radiation Physics and Technol. of Ministry of Education, Inst. of Nuclear Sci. and Technol., Sichuan ...) ,  ZHU H. L. (Key Lab. of Radiation Physics and Technol. of Ministry of Education, Inst. of Nuclear Sci. and Technol., Sichuan ...) ,  WAN Q. (Inst. of Systems Engineering, China Acad. of Engineering Physics, Mianyang, Sichuan 621900, CHN) ,  YANG Y. Y. (Key Lab. of Radiation Physics and Technol. of Ministry of Education, Inst. of Nuclear Sci. and Technol., Sichuan ...) ,  LIAO J. L. (Key Lab. of Radiation Physics and Technol. of Ministry of Education, Inst. of Nuclear Sci. and Technol., Sichuan ...) ,  LIU N. (Key Lab. of Radiation Physics and Technol. of Ministry of Education, Inst. of Nuclear Sci. and Technol., Sichuan ...) ,  WANG L. M. (Dep. of Nuclear Engineering and Radiological Sci., Univ. of Michigan, Ann Arbor, Michigan 41089, USA)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 118  号： 17  ページ： 175301-175301-6  発行年： 2015年11月07日 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *タングステン ,  スパッタ蒸着 ,  *蒸着膜 ,  積層構造 ,  多層膜 ,  *表面粗さ ,  表面拡散 ,  変調構造 ,  周期構造 ,  動力学
準シソーラス用語： 単層膜

分類 (1件)： 金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (3件)： 多層 ,  表面粗化 ,  動力学