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J-GLOBAL ID：201502218461268965   整理番号：15A1263482

NbドープPZT薄膜により作動した非共鳴2次元圧電MEMS光スキャナ

Non-resonant 2-D piezoelectric MEMS optical scanner actuated by Nb doped PZT thin film

著者 (5件)： NAONO Takayuki (FUJIFILM CORPORATION, 577 Ushijima, Kaisei-machi, Ashigarakami-gun, Kanagawa 258-8577, JPN) ,  NAONO Takayuki (Dep. of Bioengineering and Robotics, Graduate School of Engineering, Tohoku Univ., 6-6-01 Aramaki aza Aoba, Aoba-ku ...) ,  FUJII Takamichi (FUJIFILM CORPORATION, 577 Ushijima, Kaisei-machi, Ashigarakami-gun, Kanagawa 258-8577, JPN) ,  ESASHI Masayoshi (Advanced Inst. of Materials Res., Tohoku Univ., 519-1176 Aramaki aza Aoba, Aoba-ku, Sendai 980-0845, JPN) ,  TANAKA Shuji (Dep. of Bioengineering and Robotics, Graduate School of Engineering, Tohoku Univ., 6-6-01 Aramaki aza Aoba, Aoba-ku ...)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 233  ページ： 147-157  発行年： 2015年09月01日 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本稿では,内視鏡光干渉断層計(E-OCT)応用のためのNbドープPZT(PNZT)薄膜により作動させた非共鳴2次元圧電MEMSスキャナについて報告した。PNZT膜を持つ単一形アクチュエータは,非ドープPZT膜を持つものの2倍以上の変位のを示し,従来の非共鳴圧電スキャナで困難であった大角度の非共鳴走査に適している。著者らは,2.2mmX2.7mmのコンパクトな素子サイズの中に1mmX1mmの鏡の2軸走査運動のできる折りたたみL形状アクチュエータを持つジンバルレススキャナを設計した。PNZTアクチュエータを持つ製作したMEMSスキャナは,非共振モードの40V_ppの駆動電圧で,走査軸両方で18.6°の光走査角を示した。この走査角はPZTアクチュエータを持つスキャナのそれより1.7倍以上大きく,そしてサイドイメージングプローブの3mm作動距離で1mmX0.7mmの臨床的に有用な走査面積を達成するのに十分高かった。スキャナの共振周波数は,OCTイメージングにおける50Hzまでの非正弦波駆動のため十分に高い,1.37kHzより大きかった。スキャナを,毎秒50ラインで線形OCTイメージングのため低域フィルタを介して25Hzの三角波および50Hzののこぎり波により駆動した。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *走査装置 ,  *圧電気 ,  *MEMS ,  ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  薄膜 ,  内視鏡 ,  光干渉断層計 ,  アクチュエータ ,  走査 ,  画像処理 ,  共振周波数 ,  三角波 ,  鋸波
準シソーラス用語： イメージングプローブ ,  ジンバル ,  *圧電薄膜 ,  共振モード ,  駆動電圧 ,  *光スキャナ ,  非正弦波

分類 (1件)： 圧電デバイス  (NC03110I)

タイトルに関連する用語 (9件)： Nb ,  ドープ ,  PZT ,  薄膜 ,  共鳴 ,  2次元 ,  圧電 ,  MEMS ,  光スキャナ